1、隨著微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的迅速發(fā)展，對(duì)器件運(yùn)動(dòng)性能檢測(cè)的需求日益迫切。本論文旨在探討微機(jī)電系統(tǒng)器件的運(yùn)動(dòng)檢測(cè)技術(shù)，主要研究了激光差動(dòng)多普勒方法在面內(nèi)運(yùn)動(dòng)檢測(cè)中的應(yīng)用。 論文建立了激光差動(dòng)多普勒測(cè)量系統(tǒng)，用于檢測(cè)諧振器在平面內(nèi)的振動(dòng)，系統(tǒng)的測(cè)量光軸垂直于被測(cè)速度。該系統(tǒng)主要由光學(xué)部分、信號(hào)處理電路、數(shù)據(jù)分析程序和微動(dòng)調(diào)整裝置等組成。光學(xué)系統(tǒng)中，在差動(dòng)多普勒測(cè)量光路的基礎(chǔ)上加入了CCD監(jiān)控光路，用監(jiān)視器觀察被測(cè)器件調(diào)整過(guò)程和振動(dòng)情況。電路

2、系統(tǒng)從光學(xué)系統(tǒng)輸出的高頻信號(hào)中提取了多普勒信號(hào)。在計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理程序中，利用頻譜分析、計(jì)數(shù)法等方法計(jì)算了諧振器的速度，并積分得到位移曲線。 測(cè)量了電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)速和加速度計(jì)校準(zhǔn)儀的往復(fù)振動(dòng)，驗(yàn)證了實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的可靠性和準(zhǔn)確性。分別測(cè)量了四個(gè)諧振器的振動(dòng)情況，得到了活動(dòng)梳齒的諧振頻率、瞬時(shí)速度和位移等，并用計(jì)算機(jī)顯微視覺(jué)方法進(jìn)行了比對(duì)實(shí)驗(yàn)。 論文研究了被測(cè)諧振器的調(diào)整和定位方法，并詳細(xì)分析了在諧振器運(yùn)動(dòng)檢測(cè)時(shí)，測(cè)量系統(tǒng)中可能出現(xiàn)