1、由于氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、靈敏度高等特點(diǎn)，得到廣泛的應(yīng)用。但其穩(wěn)定性、選擇性等方面仍有待改善，且難度較大，急需開(kāi)發(fā)新的氣敏材料。因此，研發(fā)Cr2O3納米材料作為一種新的氣敏候選材料，具有重要的意義。 本文采用沉淀法、水熱法、檸檬酸鹽法合成了Cr2O3納米粉體以及采用共沉淀法制備了Cr2—xMxO3(x=0.1-0.5)(M=Fe、Sn、Ni)納米粉體，利用XRD、SEM、XPS、BET等對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征，并

2、制備了厚膜型氣敏元件，在丙酮、正丙醇、乙醇、甲醇、苯和甲苯等氣體中測(cè)試了它們的氣敏性能。發(fā)現(xiàn)沉淀法制備的Cr2O3納米粉體具有較佳的氣敏特性，經(jīng)450℃燒結(jié)材料的氣敏性能較350℃燒結(jié)的好；在最佳加熱電壓4V時(shí)，其厚膜型元件對(duì)正丙醇、丙酮、乙醇和甲醇?xì)怏w的靈敏度較高，其檢測(cè)限低至10μl/L，且具有較好的抗?jié)裥?。而摻雜Fe、Sn、Ni三種元素對(duì)材料的導(dǎo)電性、氣敏性能有不同程度的改善，其工作溫度也有所降低，其中Cr1.5Ni0.5O3在其