1、氟化鎂(MgF2)作為一種傳統(tǒng)的鍍膜材料，在薄膜光學(xué)領(lǐng)域有著十分重要的地位與作用。氟化鎂薄膜是所有低折射率的材料中最為牢固的薄膜，有著良好的光學(xué)性能和機(jī)械性能。
　　 本文對(duì)在MgF2中摻雜YF3( CaF2)材料進(jìn)行了光學(xué)性能和機(jī)械性能的研究。通過(guò)在K9玻璃上鍍制單層增透膜，并對(duì)其透過(guò)率、激光干涉條紋、附著力、以及耐磨性進(jìn)行了測(cè)試，得出了在MgF2中摻雜5％～10％的YF3材料可以有效的改善氟化鎂薄膜的張應(yīng)力，而且對(duì)于薄膜在可

2、見(jiàn)光區(qū)的透過(guò)率也有所提高。同時(shí)還保持了薄膜良好的機(jī)械性能。在MgF2中摻雜5％的CaF2材料也得到了不錯(cuò)的效果。實(shí)驗(yàn)證明YF3(CaF2)可以摻入MgF2中形成新的鍍膜材料。
　　 對(duì)于薄膜應(yīng)力的測(cè)試，是通過(guò)測(cè)量鍍膜前后基片的激光干涉條紋的改變來(lái)實(shí)現(xiàn)的。這對(duì)于測(cè)量薄膜應(yīng)力的改變，是一種較為簡(jiǎn)便的方法。
　　 當(dāng)今對(duì)于新型鍍膜材料的研究較多，但對(duì)傳統(tǒng)鍍膜材料的改性研究較少。本文在MgF2中摻雜YF3(CaF2)材料是對(duì)傳統(tǒng)