1、微型真空電子器件近期得到了蓬勃的發(fā)展，這種器件的小型互作用電路的研發(fā)也取得了令人矚目的成果，已經(jīng)成為當前真空電子學領域的研究熱點。微型真空電子器件充分結(jié)合了微波真空電子器件的工作原理和微細加工的特點，既適合高頻、大功率應用，能夠適應寬廣的溫度范圍和強輻射環(huán)境，又實現(xiàn)了微細加工技術高精度、低成本、高可重復性等優(yōu)勢，滿足高頻器件對加工十分苛刻的要求。折疊波導慢波結(jié)構是一種全金屬結(jié)構，在高頻應用中具有大功率、寬頻帶的特性；矩形柵波導慢波結(jié)構在

2、微波及毫米波技術中有廣泛的應用，尤其是它作為一種經(jīng)典的慢波結(jié)構被大量的微波電子系統(tǒng)所采用，例如返波振蕩器和行波管等等。而他最吸引人的優(yōu)點是柵結(jié)構在小尺寸、短波長情況下的可量測性。與微機電系統(tǒng)技術(MEMS)的兼容可以使上述兩種慢波結(jié)構實現(xiàn)可靠、精確、高重復性的加工工藝。目前應用最新的微加工技術，新型微真空電子器件作為毫米波或者太赫茲源的小型電路的精密制造已經(jīng)成為真空微電子學中重要的研究領域之一，微型折疊波導行波管可以作為一種毫米波、甚至

3、亞毫米波小型輻射源[35][36]。矩形柵慢波結(jié)構作為一種帶狀電子束行波管的慢波結(jié)構正成為現(xiàn)今研究的熱點[10][32][34][38]。針對軍事電子裝備、雷達系統(tǒng)、通訊等應用的需求，W波段新型慢波結(jié)構的研究對于該波段的這種新型器件的開拓有重要作用。 本文以W波段折疊波導慢波結(jié)構和矩形柵波導慢波結(jié)構為研究對象。研究的目的是為利用微細加工技術制造微型折疊波導行波管或者利用矩形柵慢波結(jié)構為高頻系統(tǒng)的帶狀束行波管奠定理論基礎和參考價值