1、分類號密級UDC1注學位論文傾斜反射鏡的驅動設計與控制研究傾斜反射鏡的驅動設計與控制研究（題名和副題名）閆智軍閆智軍（作者姓名）指導教師姓名李曉峰李曉峰教授電子科技大學電子科技大學成都（職務、職稱、學位、單位名稱及地址）申請專業(yè)學位級別碩士碩士專業(yè)名稱控制理論與控制工程控制理論與控制工程論文提交日期2012.4.30論文答辯日期2012.6.8學位授予單位和日期電子科技大學答辯委員會主席評閱人2012年6月8日注1：注明《國際十進分類法

2、UDC》的類號。萬方數據摘要I摘要傾斜反射鏡常用于微定位系統(tǒng)，在自適應光學系統(tǒng)中可用于實現波前整體校正，在空間光通信ATP系統(tǒng)中可用于執(zhí)行精跟蹤光束偏轉等?；趦A斜反射鏡的微定位系統(tǒng)需要重點關注小角度偏轉條件下合理驅動方式的選擇問題以及怎樣提高控制精度問題。針對以上問題，本文在開展傾斜鏡工作原理分析的基礎上，開展了基于壓電陶瓷驅動器的傾斜反射鏡轉動驅動技術研究以及在閉環(huán)系統(tǒng)中采用PID控制算法提高驅動系統(tǒng)控制精度技術的研究。論文主要內容

3、包括：1、在分析傾斜反射鏡工作原理的基礎上，設計了壓電傾斜鏡驅動的總體框架，論述了各個模塊的設計原理，包括輸入控制模塊、電源模塊、高壓功率放大模塊和傳感器檢測回路模塊。輸入控制模塊主要討論了DSP芯片選擇及其外圍電路設計、DA轉換電路和AD轉換電路；電源模塊討論了高壓電源的設計和低壓電源的設計，重點開展了高壓電源以及高壓功率模塊（包括器件的選擇，電路的設計及其電路的保護措施等）的設計；傳感器檢測回路模塊分析了傳感器回路的工作原理和控制原

4、理。2、在完成壓電陶瓷伺服控制模塊和壓電陶瓷執(zhí)行器傾斜平臺選擇的基礎上，分析了壓電陶瓷控制系統(tǒng)開環(huán)和閉環(huán)工作原理，搭建了壓電陶瓷控制系統(tǒng)模型。論文開展了基于壓電陶瓷控制系統(tǒng)的閉環(huán)控制算法研究，建立了壓電陶瓷驅動系統(tǒng)的數學模型，導出了開環(huán)系統(tǒng)傳遞函數，采用ZieglerNichols整定法對所建立的模型進行了仿真，仿真結果顯示經過校正后系統(tǒng)超調量小、響應時間快、穩(wěn)定誤差小。3、用Multisim軟件對所設計的驅動電路的線性度、線性誤差、靜