1、分類號密級UDC編號桂林電子科技大學碩士學位論文題目表面粗糙度自動檢測技術及儀器（英文）DesigningManufacturingofAutomaticSurfaceRoughnessPhotoelectricInspectionInstrument研究生姓名:李鵬指導教師姓名、職務:冷雪松（教授）蕭澤新（教授）申請學科門類:工學學科、專業(yè):機械制造及其自動化提交論文日期:2011年4月論文答辯日期:2011年6月2011年6月18日

2、萬方數據摘要I摘要在機械制造過程中，零件的表面粗糙度是一個非常重要的參數，它直接影響零件的摩擦、磨損、疲勞強度、接觸剛度、耐腐蝕性、配合性能及機械和儀器的工作精度。目前，各個工廠使用的粗糙度檢測顯微鏡主要是9J型光切顯微鏡。這種顯微鏡不僅價格昂貴，結構相對龐大，而且最終都需要人工目視檢測和計算。隨著制造業(yè)的發(fā)展，此種顯微鏡已不能滿足我們對零件表面粗糙度檢測的要求。因此本文基于光切法的原理，提出了一種集光、機、電、算于一體的設計方案，闡述

3、了該儀器的檢測原理和設計方法，并成功制造出科研樣機一臺，為我國的檢測行業(yè)做出了積極的貢獻。本文主要研究內容如下：總結了傳統(tǒng)的9J型光切顯微鏡的檢測方法和表面粗糙度參數Rz值的評定方法。闡述了光切法的原理，并基于幾何光學成像原理，運用OSLO軟件設計了兩組無限遠像距平場復消色差物鏡，和新的兩片型線結構平行光光源，實現了對零件的表面微觀輪廓成像?；跈C械原理，合理的選擇步進電機和電機控制芯片設計了全自動高精度載物臺，實現了儀器在對零件表面參