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文檔簡介
1、<p><b> 目錄</b></p><p><b> 圖表目錄</b></p><p> 圖表 1. 公司發(fā)展歷程4</p><p> 圖表 2. 公司的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品定位5</p><p> 圖表 3. 公司主要股東及持股比例5</p><p>
2、; 圖表 4. 公司主要產(chǎn)品布局6</p><p> 圖表 5. 公司的客戶結(jié)構(gòu)6</p><p> 圖表 6. 2017 年盛美產(chǎn)品類別占比7</p><p> 圖表 7. 公司主營業(yè)務(wù)收入結(jié)構(gòu)7</p><p> 圖表 8. 2015-2017 公司經(jīng)營規(guī)模及增速8</p><p> 圖表 9
3、. 2015-2017 公司盈利能力變化8</p><p> 圖表 10. 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備競爭格局9</p><p> 圖表 11. 2017 年半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)經(jīng)營業(yè)績比較9</p><p> 圖表 12. 國產(chǎn)半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)對比10</p><p> 圖表 13. 盛美 SAPS 清洗效率高于批式兆聲波10&l
4、t;/p><p> 圖表 14. 盛美 TEBO 清洗技術(shù)接近零損傷11</p><p> 圖表 15. 全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模及增速12</p><p> 圖表 16. 1Q2018 全球半導(dǎo)體市場規(guī)模及增速12</p><p> 圖表 17. 制程設(shè)備在所有半導(dǎo)體設(shè)備中占 80%13</p><p>
5、 圖表 18. 各類制程設(shè)備的占比13</p><p> 圖表 19. 全球清洗設(shè)備市場規(guī)模 30 億美元13</p><p> 圖表 20. 工藝進步與芯片良率關(guān)系14</p><p> 圖表 21. 工藝進步帶動清洗步驟增加14</p><p> 圖表 22. 全球半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)市占率14</p><
6、p> 圖表 23. 國際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭經(jīng)營規(guī)模14</p><p> 圖表 24. 制程設(shè)備的競爭格局及國產(chǎn)品牌15</p><p> 圖表 25. 國產(chǎn)制程設(shè)備進入國際芯片巨頭15</p><p> 圖表 26. 中國即將成為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備需求市場16</p><p> 圖表 27. 中國大陸新建晶圓廠占比最高
7、16</p><p> 圖表 28. 國內(nèi)產(chǎn)線建設(shè)進度及盛美進入情況17</p><p> 圖表 29. 迪士恩收入結(jié)構(gòu)及地域分布18</p><p> 附錄圖表 30. 報告中提及上市公司估值表20</p><p><b> 一.盛美半導(dǎo)體簡介</b></p><p><b
8、> 公司發(fā)展歷程</b></p><p> 公司至今成立 20 年,致力于清洗設(shè)備研發(fā)與制造:</p><p> 盛美半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(ACM)于 1998 年在美國成立,后于 2006 年設(shè)立盛美上海,開發(fā) SAPS</p><p><b> 兆聲波清洗技術(shù);</b></p><p> 2
9、009 年公司首臺 12 英寸 45nm 單片清洗設(shè)備進入海力士無錫生產(chǎn)線測試;</p><p> 2011 年獲得海力士韓國 1 臺 8 腔 12 寸單片清洗設(shè)備訂單并于當(dāng)年出貨;</p><p> 2013 年開發(fā)出用于先進封裝的濕制程線設(shè)備,包括刻蝕設(shè)備、涂膠設(shè)備、顯影設(shè)備、硅刻蝕設(shè)備等,獲得長電科技濕法去膠機訂單;</p><p> 2014 年公司的
10、 8 腔清洗設(shè)備進入華力微電子;</p><p> 2015 年開發(fā)出 TEBO 無損傷兆聲波清洗技術(shù);</p><p> 2016 年公司的 8 腔清洗設(shè)備進入中芯國際;</p><p> 2017 年獲得長江存儲首臺 8 腔單片清洗機訂單 1 臺,12 腔單片清洗機訂單 1 臺;</p><p> 2017 年在美國納斯達克成功上
11、市。圖表 1. 公司發(fā)展歷程</p><p> 資料來源:公司官網(wǎng)、中銀證券</p><p> 2007 年公司開始研發(fā)單晶片的濕式清洗設(shè)備,并在 2009 年引入可移動的兆聲波清洗(SAPS)技術(shù)。</p><p> 2016 年 3 月,ACM 研發(fā)出時通電氣泡震蕩兆聲波清洗(TEBO)技術(shù)。</p><p> 圖表 2. 公司的
12、半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品定位</p><p> 資料來源:公司官網(wǎng)、中銀證券</p><p> 公司的管理團隊和股權(quán)結(jié)構(gòu)</p><p> 公司最初創(chuàng)始人為 David H. Wang,其從 1998 年開始擔(dān)任公司的首席執(zhí)行官,總裁和董事,2017 年 10 月?lián)喂镜亩聲飨ufa Chen 于 2007 年擔(dān)任上海銷售副總裁;Sotheara Cheav
13、于 2015 年擔(dān)任生產(chǎn)部副總裁;Jian Wang 于 2015 年擔(dān)任研發(fā)部副總裁,Min xu 在 2016 年擔(dān)任公司 CFO。</p><p> 公司控股比例:David H. Wang 為公司第一大股東(除直接持股 10%外,另有部分尚未行權(quán)的期權(quán))。第二和第三大股東分別為上??萍紕?chuàng)投和 H. L. Hsieh,分別持有 10.5%和 7.3%的股份。</p><p><
14、;b> 公司的業(yè)務(wù)結(jié)構(gòu)</b></p><p> ACM 主要從事單晶片的濕式清洗設(shè)備的開發(fā)、生產(chǎn)和銷售,除清洗設(shè)備外,公司還在中國銷售定制晶圓級封裝設(shè)備。</p><p> 資料來源:公司公告,中銀證券</p><p> 公司運用和世界領(lǐng)先的邏輯和存儲芯片代工廠合作的模式來開展業(yè)務(wù)。2009 年盛美開發(fā)出SAPS 兆聲波清洗技術(shù),而此時海
15、力士正被小顆粒的清洗問題所困擾,盛美借此機遇開始與海力士展開長期合作。</p><p> 據(jù)公司統(tǒng)計,2015-2017 年公司營業(yè)收入分別有 86%、24%和 18.1%來自海力士,截止到 2017 年,盛美總共銷售了 30 多臺清洗設(shè)備,其中,給海力士供應(yīng)了 20 多臺。除了海力士,盛美還進入了長江存儲、中芯國際、上海華力、JECT 等 5 家客戶。</p><p> 圖表 5.
16、公司的客戶結(jié)構(gòu)</p><p> 資料來源:公司公告,中銀證券</p><p> 公司運用相同的營業(yè)模式,在 2016 年引入以 TEBO 技術(shù)為基礎(chǔ)的清洗機。</p><p> 目前,公司收入主要來自以 SAPS 技術(shù)為基礎(chǔ)的清洗設(shè)備和后端封裝測試產(chǎn)品。其中,單晶片清洗設(shè)備占公司 2017 年營業(yè)收入的 74.2%,達 2710 萬美元。</p>
17、<p><b> 后臺封測設(shè)備,</b></p><p><b> 26%</b></p><p> 單晶片清洗設(shè)備, 74%</p><p> 資料來源:公司公告,中銀證券</p><p><b> 公司歷年經(jīng)營業(yè)績</b></p>&l
18、t;p> 公司 2017 年營業(yè)收入 3,650 萬美元,同比增長 33.2%。</p><p> 從產(chǎn)品結(jié)構(gòu)看,單晶片清洗設(shè)備銷售收入達到 2710 萬美元,同比增長 26%,占比 74%;先進封裝設(shè)備收入 750 萬美元,同比增長 67%,占比 20%;售后服務(wù)收入 190 萬美元,同比增長 38%,占比 5%。</p><p> 從客戶方面看,2017 年總營業(yè)收入增量
19、910 萬美元中,其中,有 880 萬美元來自公司新拓展的兩名客</p><p> 戶,即長江存儲和上海集成電路研發(fā)中心;剩余 30 萬美元來自公司已有客戶的訂單增長。</p><p> 圖表 7. 公司主營業(yè)務(wù)收入結(jié)構(gòu)</p><p> 資料來源:公司公告,中銀證券</p><p> 2015-2017 年,公司凈利潤呈逐年下降趨勢
20、,其中 2016 年同比下降 70%達 240 萬美元,2017 年同比下降 137%,即虧損 90 萬美元。主要因為公司的收入來源為單晶片的清洗設(shè)備,為了持續(xù)拓展新客戶和研發(fā)新產(chǎn)品,公司銷售費用和研發(fā)費用占收入比重逐年增長,導(dǎo)致公司凈利潤出現(xiàn)下滑。</p><p> 圖表 8. 2015-2017 公司經(jīng)營規(guī)模及增速</p><p><b> (百萬美元)</b>
21、;</p><p><b> 40</b></p><p><b> 30</b></p><p><b> 20</b></p><p><b> 10</b></p><p><b> 0</b>
22、</p><p><b> (10)</b></p><p><b> 36.5</b></p><p><b> ?。?)</b></p><p><b> 20</b></p><p><b> 15</
23、b></p><p><b> 10</b></p><p><b> 5</b></p><p><b> 0</b></p><p><b> (5)</b></p><p> 201520162017<
24、;/p><p> 資歷來源:公司公告,中銀證券</p><p> 2016 年和 2017 年毛利率分別為 48.9%和 47.1%,17 年較上年下降 1.8 個百分比主要是由于公司給新客戶銷售了利潤相對較低的產(chǎn)品。公司預(yù)計未來毛利率將會維持在 40%~45%。</p><p> 圖表 9. 2015-2017 公司盈利能力變化</p><p
25、><b> 60%</b></p><p><b> 50%</b></p><p><b> 40%</b></p><p><b> 30%</b></p><p><b> 20%</b></p>
26、<p><b> 10%</b></p><p><b> 0%</b></p><p><b> -10%</b></p><p> 201520162017</p><p> 資料來源:公司公告,中銀證券</p><p>
27、二.公司的競爭優(yōu)勢、國內(nèi)外競爭格局</p><p> 目前,國際上共有 5 家企業(yè)在生產(chǎn)單晶片清洗設(shè)備,分別是 Screen Semiconductor Solutions,Tokyo Electron, Lam Research, SEMES 和 ACM。其中,Screen 占據(jù)了行業(yè)的半壁江山。據(jù) Gartner 統(tǒng)計,2016 年 Screen 的市占率為 53.7%,而 ACM 僅占 0.8%。<
28、/p><p> 圖表 10. 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備競爭格局</p><p> Lam Research, 13% </p><p> SEMES, 9%ACM Research,</p><p><b> 1%</b></p><p> Others, 5%</p><
29、;p> Tokyo Electron, 19%</p><p> 資料來源:Gartner, 中銀證券</p><p> Screen Semiconductor, 54%</p><p> 圖表 11. 2017 年半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)經(jīng)營業(yè)績比較</p><p> 清洗設(shè)備類型優(yōu)勢整體收入規(guī)模</p>&l
30、t;p><b> 凈利潤</b></p><p><b> 毛利率</b></p><p><b> 凈利率</b></p><p> IC 清洗設(shè)備的 清洗設(shè)備市值</p><p> 單片 Jet spray and</p><p>
31、;<b> ?。ā鐑|)</b></p><p><b> ?。ā鐑|)</b></p><p><b> (%)</b></p><p><b> (%)</b></p><p><b> 收入占比(%)</b></p>
32、;<p><b> 市占率(%)</b></p><p><b> ?。ā鐑|)</b></p><p><b> DNS TEL</b></p><p><b> Lam</b></p><p><b> SEMES<
33、/b></p><p> chemical前道/中道清洗322.6832860-705436</p><p> 單片 Jet spray and10619.24218719280</p><p><b> chemical</b></p><p> 單片 Jet spray a
34、nd 后道銅制程清洗8013.64617估計 513301</p><p> 單片 Jet spray and三星供應(yīng)商10.510-15</p><p> chemical、兆聲波</p><p> ACM R單片 SAPS/TEBO 小顆粒清洗,無圖</p><p><b> 形破壞清洗<
35、/b></p><p> 0.365(0.009)47(80)12</p><p> 資料來源:公司公告,中銀證券</p><p> 半導(dǎo)體清洗設(shè)備中,盛美半導(dǎo)體承擔(dān)清洗設(shè)備國產(chǎn)化重任。除盛美之外,國內(nèi)研發(fā)制造清洗設(shè)備的企業(yè)還有北方華創(chuàng)和至純科技,三家公司的清洗設(shè)備存在一定的區(qū)別。</p><p> 圖表 12. 國產(chǎn)
36、半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)對比</p><p> ?。▋|元)清洗設(shè)備類型特點、進度2017 年清洗設(shè) 2017 年整體</p><p><b> 清洗設(shè)備收入占比</b></p><p> 備收入規(guī)模收入規(guī)模</p><p> 盛美單晶片清洗獨有的 SAPS 和 TEBO 技術(shù),長期供應(yīng)海力士2.42.4
37、90%以上北方華創(chuàng)槽式(Akrion)Akrion 擁有國際客戶,已陸續(xù)進入國內(nèi)客戶1225%</p><p> 至純科技*槽式、單片*槽式清洗設(shè)備已經(jīng)拿到多臺訂單,單片式清</p><p><b> 洗也已拿到意向訂單</b></p><p> 資料來源:公司公告,中銀證券 *資料來自至純科技 2017 年年報&l
38、t;/p><p><b> 03.70%</b></p><p> ACM 生產(chǎn)的單晶片清洗設(shè)備主要基于兩項專利技術(shù):</p><p> 空間交變相移兆聲波清洗(SAPS)。隨著技術(shù)節(jié)點逐漸從 45nm 縮小到 10nm,傳統(tǒng)的噴射清洗技術(shù)已經(jīng)難以清除掉微小的顆粒,隨之取代的是兆聲波清洗技術(shù),其利用兆聲波產(chǎn)生的氣穴將顆粒移除。但兆聲波的傳
39、遞并不均勻,顆粒去除率低,而 ACM 開發(fā)的 SAPS 技術(shù)可利用微小的移動解決兆聲波傳遞的均勻性。</p><p> 圖表 13. 盛美 SAPS 清洗效率高于批式兆聲波</p><p> 資料來源:公司公告,中銀證券</p><p> 時序能激氣泡震蕩兆聲波清洗(TEBO)。存儲芯片從 2D 升級到 48 層 3D 使芯片的高深寬比逐漸提高,邏輯芯片進入
40、finFET 結(jié)構(gòu),有效的清潔需要使用較高功率級別的兆聲波,這樣會使原本脆弱的晶圓片造成嚴(yán)重圖案損傷。而 TEBO 技術(shù)可以穩(wěn)定氣泡的震蕩,達到低甚至零損傷。</p><p> 圖表 14. 盛美 TEBO 清洗技術(shù)接近零損傷</p><p> 資料來源:公司公告,中銀證券</p><p> 三.半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場潛力</p><p>
41、<b> 1.半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)</b></p><p> 據(jù) SEMI 預(yù)計,2017 年,全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額將達到 566 億美元,相比 2016 年 412 億美元同比增長</p><p><b> 37%。</b></p><p> 預(yù)計 2018 年全球銷售額達到 645 億美元,同比增長 14%左右。20
42、19 年全球銷售額達到 700 億美元,</p><p> 同比增長 9%,市場規(guī)模相當(dāng)于 2005-2015 年歷史平均水平的 2 倍。</p><p> 圖表 15. 全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模及增速</p><p><b> (億美元)</b></p><p><b> 800</b>&l
43、t;/p><p><b> 700</b></p><p><b> 600</b></p><p><b> 500</b></p><p><b> 400</b></p><p><b> 300</b&
44、gt;</p><p><b> 200</b></p><p><b> 100</b></p><p><b> (%)</b></p><p><b> 1.5</b></p><p><b> 1.0&l
45、t;/b></p><p><b> 0.5</b></p><p><b> 0.0</b></p><p><b> (0.5)</b></p><p><b> 0</b></p><p> 20022004
46、2006200820102012201420162018E</p><p><b> (1.0)</b></p><p> 資料來源:Semi, 中銀證券</p><p> 據(jù) SEMI 報告,2018 年第一季度全球半導(dǎo)體制造設(shè)備收入為 170 億美金,達到歷史最高紀(jì)錄。同比增長 30%,其中 3 月份以 78 億美元創(chuàng)單
47、月歷史記錄,同比增長 59%。</p><p> 圖表 16. 1Q2018 全球半導(dǎo)體市場規(guī)模及增速</p><p><b> 2、清洗設(shè)備行業(yè)</b></p><p> 半導(dǎo)體設(shè)備中,分制程來看,晶圓代工廠設(shè)備采購占到 80%,檢測設(shè)備占比 8%,封裝設(shè)備占比 7%, 硅片廠設(shè)備等其他占比 5%;</p><p&g
48、t; 制程設(shè)備中,我們估計單片清洗設(shè)備占比 5%左右,而光刻機的采購金額占半導(dǎo)體設(shè)備的比例為 18%, Dry Etch 設(shè)備占比 18.6%,其次是 CVD 的采購金額占比 13.7%,再其次就是檢測設(shè)備、顯影設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備等。</p><p> 圖表 17. 制程設(shè)備在所有半導(dǎo)體設(shè)備中占 80%圖表 18. 各類制程設(shè)備的占比</p><p><b> 封裝設(shè)備,
49、</b></p><p><b> 7%</b></p><p><b> 測試設(shè)備,</b></p><p><b> 其他, 5%</b></p><p> 其他, 35.30%</p><p> 干刻, 18.60%</
50、p><p><b> 備, 80%</b></p><p><b> 顯影, 4.30%</b></p><p><b> 清洗, 4.30%</b></p><p><b> 檢測, 5.60%</b></p><p> C
51、VD, 13.70% 光刻, 18.20%</p><p> 資料來源: Semi, 中銀證券資料來源: Semi, 中銀證券</p><p> 隨著芯片的制程逐漸縮小和存儲器 2D 向 3D 的轉(zhuǎn)變,生產(chǎn)程序變得復(fù)雜,使清洗成為生產(chǎn)芯片過程中重復(fù)次數(shù)最多的步驟。在先進制程中,600 多道工藝有 1/3 為清洗步驟。當(dāng)制程縮小到 22nm 或更小時,精細的尺寸、特征和更復(fù)雜的結(jié)構(gòu)使清
52、洗程序變得繁瑣而重要。</p><p> 根據(jù)盛美公開資料顯示,2017 年清洗設(shè)備市場規(guī)模 27 億美元,預(yù)計 2020 年達到 35-40 億美元。2015-2020 年年均復(fù)合增速 6.8%。</p><p> 圖表 19. 全球清洗設(shè)備市場規(guī)模 30 億美元</p><p> 資料來源:2017 年半導(dǎo)體設(shè)備年會, 中銀證券</p>&l
53、t;p> 隨著線寬微縮,晶圓制造的良率隨著線寬縮小而下降,而提高良率的方式之一就是增加清洗工藝, 在 80-60nm 制程中,清洗工藝大約 100 多個步驟,而到了 20-10nm 制程,清洗工藝上升到 200 多個步驟以上。</p><p> 圖表 20. 工藝進步與芯片良率關(guān)系圖表 21. 工藝進步帶動清洗步驟增加</p><p> 資料來源:2017 年半導(dǎo)體設(shè)備年會,
54、中銀證券資料來源:2017 年半導(dǎo)體設(shè)備年會, 中銀證券</p><p> 3、清洗設(shè)備發(fā)展?jié)摿?lt;/p><p> 前道設(shè)備也就是指 PVD、光刻機、顯影設(shè)備、刻蝕機、離子注入機、膜厚檢測設(shè)備等。多數(shù)設(shè)備被</p><p> AMAT、TEL、ASML、Lam、KLA-Tencor 壟斷;</p><p> 清洗設(shè)備公司 Scree
55、n2017 年銷售收入 32 億美元,在所有半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中排名第 6 位,市占率約為</p><p><b> 4%。</b></p><p> 圖表 22. 全球半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)市占率</p><p> Nikon, 2% Others, 24%</p><p> Applied Materials,<
56、/p><p><b> 21%</b></p><p> Hitachi High</p><p> Tokyo Electron,</p><p> Lam Research,</p><p><b> 14%</b></p><p><
57、b> Tech, 3%</b></p><p> 資料來源:Semi, 中銀證券</p><p> Screen, 4%</p><p> KLA Tencor, 6%</p><p> 13% ASML, 14%</p><p> 圖表 23. 國際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭經(jīng)營規(guī)模</p&
58、gt;<p> 四.半導(dǎo)體清洗設(shè)備國產(chǎn)化</p><p> 在 8 大制程設(shè)備中,均有國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)布局,如介質(zhì)刻蝕設(shè)備由中微半導(dǎo)體承擔(dān)國產(chǎn)化重任。單一制程設(shè)備范圍內(nèi),很少有國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)存在相互競爭的情況,國產(chǎn)品牌各自主攻某一項或兩三項核心制程設(shè)備的國產(chǎn)化。在清洗設(shè)備方面,僅有盛美半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)有布局,且兩者之間的產(chǎn)品存在較大的差異。</p><p> 圖表 24. 制
59、程設(shè)備的競爭格局及國產(chǎn)品牌</p><p> 資料來源:Semi, 中銀證券</p><p> 制程設(shè)備實現(xiàn)國際客戶突破的,僅有中微、北方華創(chuàng)、盛美、沈陽芯源和睿勵。這些國產(chǎn)品牌能夠獲得國際龍頭客戶的認(rèn)可并拿到重復(fù)訂單,我們認(rèn)為這就表明國產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)具備很高的國際競爭力。</p><p> 圖表 25. 國產(chǎn)制程設(shè)備進入國際芯片巨頭</p><
60、;p> 睿勵三星膜厚檢測設(shè)備累計 5 臺以上</p><p> 資料來源:公司公告,中銀證券</p><p> 國產(chǎn)設(shè)備還面臨著國內(nèi)晶圓廠資本開支連年大幅增長的市場機遇。根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)顯示,2018 年中國大陸 Fab 的設(shè)備采購支出接近 120 億美元,同比增長 67%,超越中國臺灣成為全球第二大半導(dǎo)體設(shè)備市場,而到 2019 年,中國大陸的半導(dǎo)體設(shè)備采購金額有望
61、超過韓國位居全球第一,達到 180 億美元, 同比增長 58%。</p><p> 圖表 26. 中國即將成為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備需求市場</p><p> 資料來源:Semi,中銀證券</p><p> 中國大陸能夠成為全球第一、第二大半導(dǎo)體設(shè)備市場,主要是在政府十多年的培育下,國內(nèi)逐步形成了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈,全球 42%的晶圓廠將在中國大陸興建。</
62、p><p> 圖表 27. 中國大陸新建晶圓廠占比最高</p><p> 美洲地區(qū), 16% 歐洲等, 6%</p><p><b> 中國大陸, 42%</b></p><p><b> 東南亞, 8%</b></p><p> 資料來源:Semi,中銀證券<
63、/p><p><b> 韓國, 6%</b></p><p><b> 日本, 7%</b></p><p><b> 中國臺灣, 15%</b></p><p> 中國國際招標(biāo)網(wǎng)顯示,盛美半導(dǎo)體的清洗設(shè)備已經(jīng)進入國內(nèi)多條新建產(chǎn)線。例如,2017 年 12 月中標(biāo)上海集成電
64、路研發(fā)中心的硅片清洗設(shè)備,2018 年 1 月中標(biāo)上海華力 2 期的單片式清洗設(shè)備,2018 年 3 月中標(biāo)長江存儲的制程控片回收清洗機,2018 年 4 月中標(biāo)上海華力二期的鋁刻蝕后清洗及機械研磨后清洗設(shè)備,2018 年 5 月中標(biāo)福建晉華的擋控片微粒清洗設(shè)備等。</p><p> 圖表 28. 國內(nèi)產(chǎn)線建設(shè)進度及盛美進入情況</p><p> 產(chǎn)線投資進度盛美半導(dǎo)體</p
65、><p> 長江存儲已采購部分設(shè)備已進入</p><p> 合肥長鑫一期即將投產(chǎn)洽談中</p><p> 華力二期光刻設(shè)備進場已進入</p><p><b> 福建晉華已進入</b></p><p><b> 合肥力晶洽談中</b></p>
66、<p> 中芯天津8 寸擴產(chǎn)</p><p> 士蘭微2019 年才開始采購設(shè)備</p><p> 華虹無錫2019 年直接采購設(shè)備</p><p> 中芯國際 B3預(yù)期恢復(fù)洽談中</p><p> 中芯國際上海洽談中</p><p> 資料來源:中國國際招投標(biāo)網(wǎng)站,中銀證券<
67、/p><p> 五.SCREEN 的借鑒意義</p><p> Screen 是全球最大的半導(dǎo)體清洗設(shè)備供應(yīng)商,在全球半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)排名第六,在半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的市占率超過 50%。</p><p> 從 Screen2018 年財年的收入結(jié)構(gòu)看,來自半導(dǎo)體的設(shè)備占比達到 67%,面板設(shè)備占比 13%。從地區(qū)分布看,亞太地區(qū)(包括中國臺灣、韓國、中國大陸等)占比
68、60%,其次是日本和北美地區(qū),分別占比 18%和 11%。</p><p> 圖表 29. 迪士恩收入結(jié)構(gòu)及地域分布</p><p> 資料來源:公司公告,中銀證券</p><p> Screen 的半導(dǎo)體設(shè)備中,除清洗設(shè)備外,也還包括顯影設(shè)備、去膠設(shè)備、勻膠機、量測設(shè)備,我們預(yù)計 Screen 的半導(dǎo)體設(shè)備中,清洗設(shè)備占比 2/3,其他設(shè)備占比 1/3。&l
69、t;/p><p> Screen 具有 150 多年發(fā)展歷史,大致可分為五個發(fā)展階段:</p><p> 1868-1950:前身是 1868 年成立的石田旭上印刷所,1943 年正式成立大日本 SCREEN 制造株式會社;</p><p> 1961-1979:1966 年,開發(fā)出半導(dǎo)體生產(chǎn)使用超精密小型照相機--“Ambassador C-59”;1975 年
70、開發(fā)出半導(dǎo)體制造設(shè)備--“晶圓刻蝕機EMW-322/411”。1976 年開發(fā)出IC?LSI 封裝設(shè)備“載帶系統(tǒng)”。1978 開發(fā)出半導(dǎo)體制造用光刻膠涂布設(shè)備--“Spinner SCW-421”。</p><p> 1980-1999 : 1992 年開發(fā)出采用了能消除晶圓污染的運送系統(tǒng)的新清洗設(shè)備--“ 濕法工作臺WS-820L”。1996 發(fā)布半導(dǎo)體制造設(shè)備 Spinner“D-SPIN200”。提升運送
71、速度 50%,縮小設(shè)備尺寸 30%, 大大節(jié)省空間。1997 年發(fā)布單槽型濕法工作臺--”FC-821L”。1998 年發(fā)布支持 300mm 晶圓的半導(dǎo)體制造設(shè)備。</p><p> 2000-2009:2000 年開發(fā)出支持 300mm 晶圓的單晶圓清洗設(shè)備--“MP-3000”。2002 年在中國上海成立半導(dǎo)體及液晶制造設(shè)備銷售、維修服務(wù)公司。2003 年銷售新一代涂布顯影機“RF3”。2005 年銷售采用
72、獨立模塊構(gòu)造的批處理式清洗設(shè)備“FC-3100” 。2006 年發(fā)售單晶圓清洗設(shè)備的新機型“SU-3100”,發(fā)售新一代單晶圓清洗設(shè)備--“SS-3100”。半導(dǎo)體清洗設(shè)備的所有機型在 2007 年獲得全球第一的市場份額。2009 年單晶圓半導(dǎo)體清洗設(shè)備的世界市場占有率達 60%以上。</p><p> 2010 年至今:2010 年在半導(dǎo)體清洗設(shè)備的三個主要領(lǐng)域均占據(jù)全球市場份額首位,開發(fā)出支持新一代半導(dǎo)體設(shè)
73、備的全球最新清洗技術(shù)—“NanosprayÅ”。開發(fā)出新一代半導(dǎo)體單晶圓清洗設(shè) 備—“SU-3200”。開發(fā)出晶圓外觀檢查設(shè)備—“ZI-2000”。2011 年發(fā)售全球生產(chǎn)效率最高的單晶圓清洗設(shè)備“SS-3200”。2012 年發(fā)售支持超薄型半導(dǎo)體液晶的單晶圓清洗設(shè)備“SU-2000”。2014 年發(fā)售具有立體構(gòu)造的可支持電子設(shè)備的抗蝕劑涂料設(shè)備--“80EX Spray Coat”。</p><p
74、><b> 風(fēng)險提示:</b></p><p> 全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)屬于周期性行業(yè),目前高景氣度的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)存在景氣度下降風(fēng)險; 全球規(guī)劃中新建半導(dǎo)體晶圓廠,其落地程度和速度存在不確定性的風(fēng)險;</p><p> 我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)整體上落后于美日韓,半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的整體實力相比美國和日本還存在一定差 距,半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化進度快慢存在不確定性。</
75、p><p> 附錄圖表 30. 報告中提及上市公司估值表</p><p> 公司代碼公司簡稱評級股價市值每股收益(元/股)市盈率(x)最新每股凈</p><p><b> 資產(chǎn)</b></p><p> 資料來源:萬得數(shù)據(jù)及中銀證券</p><p> 注:股價截止日 2018-
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