1、1復習2013一章緒論一章緒論1光電系統(tǒng)，光電檢測系統(tǒng)的特點、實例（光盤機、光刻機等）光電系統(tǒng)，光電檢測系統(tǒng)的特點、實例（光盤機、光刻機等）2技術指標技術指標測量范圍，示值范圍，放大倍數(shù)測量范圍，示值范圍，放大倍數(shù)3基本組成（基本組成（8個部分）個部分）二章二章光電檢測的基本原則（光電檢測的基本原則（9個基本原則）個基本原則）重點重點：阿貝原則阿貝原則(要串聯(lián)要串聯(lián)不要并聯(lián)不要并聯(lián))及計算及計算艾賓斯坦原理艾賓斯坦原理三章三章光電檢測儀

2、器的精度理論光電檢測儀器的精度理論1誤差分類誤差分類按數(shù)學特征分按數(shù)學特征分:系統(tǒng)誤差、偶然誤差系統(tǒng)誤差、偶然誤差(隨機隨機)四章四章光電瞄準（橫向瞄準）光電瞄準（橫向瞄準）1瞄準誤差瞄準誤差2分類分類3.3.光學瞄準法光學瞄準法對線法（角誤差對線法（角誤差α）、重合法（對徑讀數(shù)）、重合法（對徑讀數(shù)）、雙象法、互補色、雙象法、互補色法、反射法。法、反射法。4激光掃描式光電自動對準（光刻機）激光掃描式光電自動對準（光刻機）3絕對式編碼器、

3、絕對式編碼器、容量和分辨率、容量和分辨率、循環(huán)碼與二進制碼互換、循環(huán)碼與二進制碼互換、電路圖路圖八章八章光電傳感器及其應用光電傳感器及其應用1傳感器的一般特性傳感器的一般特性靜態(tài)特性：線性度、靈敏度、遲滯、重復性靜態(tài)特性：線性度、靈敏度、遲滯、重復性動態(tài)特性動態(tài)特性2CCD工作原理、工作原理、CCD驅動電路驅動電路CCD的七個應用領域的七個應用領域CCD用于尺寸測量（微小尺寸的檢測用于尺寸測量（微小尺寸的檢測、小尺寸的檢測、大尺、小尺寸

4、的檢測、大尺寸檢測）寸檢測）CCD用于光譜測量（光柵式、棱鏡式）用于光譜測量（光柵式、棱鏡式）十一章十一章激光干涉、衍射測量系統(tǒng)激光干涉、衍射測量系統(tǒng)一.干涉基本原理干涉基本原理1.原理原理1）計量厚度或位移的變化）計量厚度或位移的變化干涉條紋是以干涉條紋是以λ2為單位的為單位的:Δh=?(2n)2）條紋的形狀隨兩出瞳位置的變化關系）條紋的形狀隨兩出瞳位置的變化關系——用于測面形及測長用于測面形及測長2.干涉的兩個問題：干涉的兩個問題：