1、半導(dǎo)體及新能源行業(yè)真空泵的選擇方法一：如何選用？一：如何選用？1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求1105mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5106mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為103~107mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5104~51

2、06mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在108mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在102mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1105mmHg為好。3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型

3、非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。6、了解被抽氣體成分

4、，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。9、真空泵的價格、運(yùn)

5、轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。水環(huán)式真空泵的選擇一、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力氣量、真空度或排氣壓力而定。真空泵一覽表名稱型號抽氣速率Ls極限真空Pa配用功率kW2X(Z)型旋片式真空泵0.5～7061020.55～5.5XD、X單級旋片真空泵2.8～15021020.37～15旋片真空泵X型單級旋片真空泵30～15064～1132～3004～30往復(fù)真空泵W型往復(fù)真空泵55～60020005.5～4530～50000.

6、75～55羅茨真空泵ZJ型羅茨真空泵70～300051021.1～308～6001.1～55H型滑閥真空泵70～60017.5～55滑閥真空泵2H型滑閥真空泵8～1500.14～152BE1、CBF水環(huán)式真空泵2～450m3min7.5～7102BE1型雙級水環(huán)式真空泵5～320m3min11～3802BV型水環(huán)式真空泵0.3～8.3m3min3.3~1030.81～152SK型雙級水環(huán)式真空泵0.4～30m3min3.5~1032.2

7、～55S、SK型水環(huán)式真空泵0.67～25m3min(3.5～4)1031.5～55SK型水環(huán)式真空泵0.4～120m3min(8～15)1031.1～185SZ、SK型水環(huán)式真空泵1.5～27m3min(5～14)1035.5～75SK、2YK型水環(huán)式真空泵5～280m3min10422～380液環(huán)真空泵FSK型水環(huán)式真空泵3～9m3min(5～14)1037.5～22YL型液環(huán)式真空泵5～25m3min910430～132JZJ型羅