1、真空4.1真空在真空在LCD制造制造過程中的作用程中的作用真空技術被廣泛地應用到各個領域，如表41，在我們身邊有很多真空應用的例子，比如：電燈泡、熒光燈、電動吸塵器、CRT等。表41真空應用領域和例子應用領域應用例子電子IC、LSI、LCD（成膜、刻蝕、離子注入、電子束）、CRT、電子管冶金真空溶解、真空鑄造、晶體拉升航天航空人造衛(wèi)星、火箭、模擬宇宙空間、真空潤滑光學透鏡鍍膜、激光、濾光片能源核反應堆、太陽能電池元器件原子核物理加速器分

2、析電子顯微鏡、質(zhì)量分析儀、元素分析儀、X線分光儀、表面分析儀食品、藥品食品干燥、冷凍干燥、蒸餾、脫泡？搬送真空搬送如果對容器抽氣達到真空狀態(tài)，會出現(xiàn)以下5個特征：①產(chǎn)生壓力差當對容器抽氣時，容器內(nèi)的壓力減少，產(chǎn)生壓力差。?應用設備：ODF、Autoclave（高壓釜）①水分、溶劑蒸發(fā)當容器內(nèi)的壓力減少，空氣中的水分和溶劑會蒸發(fā)。?應用設備：Photo（減壓干燥）當壓力發(fā)生變化，氣體分子的個數(shù)、平均自由程也發(fā)生大的變化（表43）。LCD制