1、液壓系統(tǒng)在船舶上的使用已經(jīng)非常廣泛，并且相對于其他液壓系統(tǒng)，船舶液壓系統(tǒng)的工作強度大、工作環(huán)境惡劣，這要求船舶液壓系統(tǒng)需要進行更好的維護和管理，其中就包括了對船舶液壓油清潔度的更高要求。統(tǒng)計資料表明，75％以上的液壓機械系統(tǒng)故障是由于液壓油的顆粒污染物所致，對液壓油顆粒污染物進行檢測是保持油液清潔度的重要手段，這對于檢查和預防液壓機械故障具有極其重要的意義。文章完成的主要工作如下:
　　(1)設計了微流體顆粒分級檢測芯片，對其進行

2、建模后用ANSYS CFX軟件進行分級效果的三維仿真，通過仿真確定了最佳的分級檢測芯片結構參數(shù)。
　　(2)接著用軟光刻法制作了分級檢測芯片，根據(jù)實際情況進一步優(yōu)化了芯片分級結構參數(shù)，并進行了分級實驗，成功對液壓油中粒徑為10μm和30μm的銅顆粒進行了分級，驗證了仿真結果的準確性。
　　(3)對整體分級檢測系統(tǒng)進行設計，包括光學檢測系統(tǒng)和信號處理采集系統(tǒng)。根據(jù)檢測特點設計光學檢測系統(tǒng)并確定每個元器件的型號。在信號處理采集系