1、Y [ 0 , 5 4 0 5 8分類號： 竺! 竺’! 密級：——單位代碼： ] Q 3 5 9學(xué) 號：! 竺! 竺竺侖肥工學(xué)火警碩士學(xué)位論文。論文題目：L a h c a 。* M n Q 薄膜微結(jié)構(gòu)及電輸運(yùn)特性的研究學(xué)位類別：學(xué)科專業(yè)： ( 工程領(lǐng)域作者姓名：導(dǎo)師姓名：完成時間：同等學(xué)力微電子學(xué)與固體電子學(xué)，，王飛梁齊副教授2 ∞7 年4 月A S t u d y o nt h em i c r o s t r u c t u r

2、 e a n d E l e c t r i c a lT r a n s p o r tP r o p e r t i e s o f L a o ．7 0 C a o ．3 0 M n 0 3F i l m sA b s t r a c t1 1 地c o l o s s a l m a g n e t o r i s t a u e e ( C M R ) e f f e c t i n m a n g a n e s ep e

3、r o v s k i t e s h a sa r o u s e d c o n s i d e r a b l ei n t e r e s t , d u et oi t sp r o p e r t i e s ．I th a s b e c o m e o n e o f t h ef r o n t i e ro b j e c t s o fc o n d e n s e dp h y s i c sa n de l e

4、 c t r o u l c s c i e n c e ．Af e ws t u d i e s o fv a c u u ma n n e a l i n g r e l a t e d t ot h ep r o p e r t i e so f t h eL a 0 ．7 0 C a 0 3 0 M n 0 3 f i l m s h a v eb e e n c o n d u c t e d ,嬲t h e y a r e

5、f i s t e da sf o l l o w e d ：T h e s t u d y b a c k g r o u n d a n da p p l i c a t i o n p e r s p e c t i v e s o f m a n g a n i t e s a r ei n t r o d u c e d ．1 k ‰．7 0 C a 0 3 0 - M n 0 3 ( L C M O ) f i l m s

6、w h i c hh a v eb e e nm a d e b yp u l s e dl a s e ra b l a t i o n c a nb e a n n e a l e d i n a n o x y g e n a t m o s p h e r eo fd i f f e r e n t p r e s s u r e a n dt e m p e r a t u r e ．n 峙Ⅺm r e s u l t s s

7、 h o wt h a t t h eL C M O f i l mg r a i n sa l eg r o w ne p i t a x i a l l ya ta b o u t 7 0 0 ℃．a(chǎn) n d t h el a U i c em i s m a t c h b e t w e e n f i l ma n d s u b s t r a t e i ss m a l l ，w h i c h c a nb ea sa

8、 n e x p e r i m e n t a lg u l d e f o rt h eL C M 0 t h i nf i l m a n n e a l i n g ．1 1 l em e t a l ．s e m i c o n d u c t o rr e s i s t a n c e - t e m p e r a t u r e ( R - T ) c l l l ' v e sa n dt r a n s i

9、 t i o nt e m p e r a t u r e o ft h e f i l m sa 塢s y s t e m a t i c a l l y i n v e s t i g a t e d ．n 圮V a c u u ma n n e a l i n gt r e a t m e n tc a l lc h a n g e t h eo x y g e nc o n t e n ta n dt h er a t i o

10、o f M n 4 + ／M n ‘’+ o ft h ef i l m se f f e c t i v e l y ．H o w e v e r ，t h er e s i s t a n c ev e r s u st e m p e r a t u r er e l a t i o n s h i pd e p e n d s o nt h eo x y g e nc o n t e n t a n d t h e r a t

11、i o o fM n 4 + ／M n J + o ft h e f i l m s ．W i t l l t h e a n n e a l i n gt e m p e r a t u r e d e c r e a s e s ，t h ef i l mo x y g e n c o n t e n t a n d t h er a t i oo f M n 4 + ／M n j + i n c r e a s e ，8 0 t

12、h er e s i s t a n c eo f t h ef i l m s d e c r e a s e s ．T h eL C M 0 f i l m s w h i c h h a v eb e e nm a d e b yp u l s e dl a s c r a b l a t i o nc a n b ea n n e a l e di na n o x y g e n a t m o s p h e r eo f

13、2 ×1 0 4 一l ×1 0 。T o r ta t 3 0 0 ．6 0 0 ℃．F o rt h es a m p l e sw h i c hw e r ei n - s i t ua n n e a l e d a t 6 0 0 ℃，5 0 0 ℃a n d4 0 0 ℃．i t s h o w s am e t a l ．s e m i c o n d u c t o r t r a n s i t

14、i o n a t 1 7 0 K , 1 9 3 Ka n d2 1 l l Lr e s p e c t i v e l y ．H o w e v e r ，f o r t h es a m p l e s w h i c h w e r e e x ．s i t ua n n e a l e d a t5 0 0 ℃，4 0 0 ℃，3 0 0 ℃．i t s h o w s am e t a l ．s e m i c o n d

15、 u c t o r t r a n s i t i o n a t 1 7 9 K , 1 8 1 Ka n d2 3 7 K ,r e s p e c t i v e l y ．I ti sf o u n d t h a tt h em e t a l ．s e m i c o n d u c t o r r e s i s t a n c e - t e m p e r a t u r e ( 1 0 T )c u r v e s

16、a n dt r a n s i t i o nt e m p e r a t u r e o ft h e f i l m sw h i c hh a v eb e e ni n - s i t u o re x - s i t ua n n e a l e d c a n b e c h a n g e d o b v i o u s l y ．1 1 塘o x y g e n c o n t e n tp l a y s a n

17、i m p o r t a n t r o l e i n d e t e r m i n i n g t h e t r a n s p o r tp r o p e r t i e s o f f i l m s ．V a c u u m a n n e a l i n g c a n o b v i o u s l y d e c r e a s e t h e t r a n s i t i o nt e m p e r a t