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1、 碩 士 學(xué) 位 論 文 題 目: 基于 基于 BSIM3 的 0.5μm 工藝 工藝 CMOS 器件 器件建模 建模 及納米級(jí) 納米級(jí) RF 器件 器件 STI 應(yīng)力的研究 應(yīng)力的研究 研 究 生 余云娟 專 業(yè) 微電子學(xué)與固電子學(xué) 指導(dǎo)教師 指導(dǎo)教師 李文鈞 副教授 劉 軍 副教授 完成日期 完成日
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