1、隨著微光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)的迅猛發(fā)展，人們對于光學(xué)元件的微型化的需求日益增加。而透鏡作為光學(xué)系統(tǒng)中非常重要的元件，透鏡的微型化也成為研究熱點。近年來，有很多科研機(jī)構(gòu)和高等院校在進(jìn)行針對微透鏡研制的工作，提出了許多種微透鏡制作方法。其中，光刻膠熱熔法成為很多科研人員的研究重點。本文基于深紫外光刻技術(shù)，提出一種新的光刻膠微透鏡制作方法，利用負(fù)性光刻膠在熱熔時產(chǎn)生曲面的方法來制作微透鏡。本文主要開展了以下工作:
　　1.調(diào)研了微透鏡

2、的制作方法，了解了微透鏡制作方法的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀和進(jìn)展。研究SU-8膠光刻工藝，基于傳統(tǒng)的光刻膠熱熔法，提出一種新的利用光刻膠熱熔制作微透鏡的方法。對微透鏡的成型機(jī)理進(jìn)行了分析和討論，從多個角度分析了各因素對微透鏡的影響。對本文的微透鏡制作方法進(jìn)行優(yōu)缺點的分析，分析了本方法制作的微透鏡的一致性和均勻性?；诒疚奶岢龅墓饪棠z微透鏡制作方法，研究了各種工藝參數(shù)對微透鏡形貌的影響。針對不同的光刻膠厚度、微透鏡寬度和后烘降溫過程，進(jìn)行了大量的實

3、驗。
　　2.為了獲得表面形貌和光學(xué)特性，利用三種測量手段來測量微透鏡的相關(guān)數(shù)據(jù)，分別是臺階儀測量、光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡測量和光學(xué)測量裝置，通過臺階儀和顯微鏡可以獲得微透鏡的曲面和形貌，通過光學(xué)測量裝置可以獲得微透鏡的光學(xué)特性。基于以上相關(guān)實驗數(shù)據(jù)，分析各工藝參數(shù)對微透鏡形貌及其光學(xué)性能的影響。針對光刻膠微結(jié)構(gòu)的寬度、光刻膠厚度、后烘降溫過程對光刻膠微透鏡的影響進(jìn)行了討論和分析。通過兩種方法計算和測得了微透鏡的焦距，對微透鏡

4、的光學(xué)特性進(jìn)行了分析和評價。最后分析了本實驗制作的微透鏡的填充因子。通過以上數(shù)據(jù)和分析，我們得出本文制作的微透鏡有以下優(yōu)點:1.本文制作的微透鏡具有超長的焦距，遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于傳統(tǒng)光刻膠熱熔法制作的微透鏡的焦距。2.本文的微透鏡制作方法可靠性好，工藝寬容性好。3.本文制作的微透鏡的填充因子很大，實驗中的填充因子最大可達(dá)98.5％。
　　3.對微透鏡的成型機(jī)理進(jìn)行了分析，并用Surface Evolver進(jìn)行了模擬仿真。模擬仿真結(jié)果較好地符