1、氣液固三相磨粒流拋光加工，是一種利用處于湍流狀態(tài)的氣液固三相高速旋流磨粒流對(duì)大面積平面工件表面進(jìn)行精密拋光加工的一種新方法。本論文通過對(duì)磨粒流在不同入射角狀態(tài)下的流場(chǎng)特性進(jìn)行數(shù)值模擬，分析運(yùn)動(dòng)規(guī)律，得出最佳結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)參數(shù)?；跀?shù)值模擬結(jié)果，設(shè)計(jì)拋光加工工具并搭建實(shí)驗(yàn)裝置平臺(tái)，進(jìn)行加工實(shí)驗(yàn)研究。主要內(nèi)容如下：
　　(1)以大平面光學(xué)及半導(dǎo)體器件表面的精密加工制造難題作為研究背景，在對(duì)國(guó)內(nèi)外各類已有加工方法進(jìn)行調(diào)研的基礎(chǔ)上，指出流體加工

2、方法的優(yōu)勢(shì)所在。綜述當(dāng)前流體加工方法的發(fā)展概況及優(yōu)缺點(diǎn)，基于氣泡潰滅理論，提出了氣液固三相磨粒流拋光加工新方法。
　　(2)基于Realizable k-ε湍流模型與Mixture模型，建立了氣液固三相磨粒流拋光加工過程的理論分析模型。通過對(duì)磨粒流在不同入射角狀態(tài)下的流場(chǎng)特性進(jìn)行數(shù)值模擬，分析其運(yùn)動(dòng)規(guī)律，得到磨粒流入射流道的最佳結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)參數(shù)，為拋光加工工具的設(shè)計(jì)加工提供指導(dǎo)。
　　(3)搭建實(shí)驗(yàn)裝置平臺(tái)，基于數(shù)值仿真分析結(jié)果