1、微納尺度對(duì)象是微機(jī)電系統(tǒng)中最廣泛的操作目標(biāo)，其特征尺寸主要介于毫米和納米范圍內(nèi)的微小物體。隨著微操作技術(shù)的不斷拓展，使得對(duì)微操作的理論方法及技術(shù)研究提出了更高的挑戰(zhàn)。當(dāng)操作對(duì)象尺寸進(jìn)入微尺度范圍，由于存在尺度效應(yīng)和表面效應(yīng)等問題，這時(shí)微觀粘著力（包括范德華作用力、靜電力、毛細(xì)作用力等）便起到主導(dǎo)作用。為了實(shí)現(xiàn)100μm尺度以下的微對(duì)象的操作轉(zhuǎn)移，本文提出了基于毛細(xì)作用和壓電振動(dòng)輔助的微對(duì)象操作方法。分析了基于毛細(xì)力拾取及壓電振動(dòng)摩擦釋放

2、微對(duì)象的可行性，最后通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了該方法的可靠性。
　　本文首先從微操作存在液體介質(zhì)時(shí)的粘著機(jī)理出發(fā)，研究分析液體介質(zhì)存在下微對(duì)象和工具以及微對(duì)象之間的粘著作用并對(duì)典型的粘著接觸作用力模型進(jìn)行分析。之后對(duì)拾取粘著模型進(jìn)行數(shù)值仿真，分析相關(guān)參數(shù)對(duì)微對(duì)象拾取毛細(xì)力的影響大小，接著在微對(duì)象拾取粘著模型基礎(chǔ)上建立了微觀摩擦受力模型，并利用系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)建立了微對(duì)象的動(dòng)態(tài)平衡方程。最后利用了SIUMULINK工具對(duì)釋放過程中的外力和特征距離進(jìn)行

3、仿真分析，得出合適的動(dòng)態(tài)參數(shù)。
　　最后依據(jù)微操作系統(tǒng)結(jié)構(gòu)要求和微操作的方案策略，建立了基于毛細(xì)粘著作用以及振動(dòng)摩擦作用的微對(duì)象操作實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。利用實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)平臺(tái)對(duì)所提出的拾取方法及釋放方法進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。針對(duì)模型仿真分析所涉及的相關(guān)參數(shù)進(jìn)行了一系列的對(duì)比分析實(shí)驗(yàn)，重點(diǎn)對(duì)微對(duì)象釋放操作過程開展了幾組對(duì)比實(shí)驗(yàn)，最后確立了最優(yōu)動(dòng)態(tài)參數(shù)對(duì)微對(duì)象拾取及釋放操作的影響規(guī)律，對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)做出統(tǒng)計(jì)并分析了該操作方法對(duì)微對(duì)象的釋放成功率和精度。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)