1、為了滿(mǎn)足日益發(fā)展的新型電子設(shè)備柔性、小型化等需要，課題研究了新型柔性壓力傳感器的制備方法、參數(shù)優(yōu)化和簡(jiǎn)單應(yīng)用。通過(guò)優(yōu)化電極制備方法，同時(shí)利用模板法制作微結(jié)構(gòu)可變的電介質(zhì)薄膜，組裝柔性電容式壓力傳感器。本課題研究了柔性金屬電極的性能以及薄膜微結(jié)構(gòu)對(duì)傳感器靈敏度的影響，實(shí)現(xiàn)了傳感器簡(jiǎn)單的壓力信號(hào)檢測(cè)功能。
　　本研究主要內(nèi)容包括：⑴發(fā)展了使用三甲胺（TMA）溶液對(duì)聚酰亞胺（PI）薄膜進(jìn)行表面改性的新方法，由該方法處理后的PI表面通過(guò)化

2、學(xué)鍍銅制備出比傳統(tǒng)KOH溶液改性方法導(dǎo)電性更高、耐濕性更好的柔性銅電極，并探討了此方法中的PI改性的機(jī)理。⑵利用微球表面自組裝得到的模板轉(zhuǎn)移制備了具有微孔結(jié)構(gòu)的PDMS薄膜，并且得到的微結(jié)構(gòu)精細(xì)度較高，達(dá)到了微納級(jí)別；通過(guò)改變微球的尺寸，利用模板翻刻得到了具有微孔直徑在500 nm~850 nm之間并且形貌均一的微結(jié)構(gòu)薄膜；當(dāng)使用500nm和750nm微球時(shí)，所得到的微孔間還具有均勻的30~50 nm的微凸二次微結(jié)構(gòu)。⑶制備了上電極片+

3、電介質(zhì)+下電極片三明治結(jié)構(gòu)的壓力電容傳感器；根據(jù)傳感器的工作原理，測(cè)試其在壓力作用下的電容變化；同時(shí)研究了不同電介質(zhì)微結(jié)構(gòu)對(duì)傳感器靈敏度的影響。⑷發(fā)展了聚酰亞胺表面處理的新方法，并以此制備了導(dǎo)電性更高、耐濕性更好的柔性金屬電極；設(shè)計(jì)并制備了具有尺寸可控的微結(jié)構(gòu)電介質(zhì)層，并與金屬電極結(jié)合制備了壓力電容傳感器。⑸在三甲胺處理PI薄膜6 h，鍍銅時(shí)間3~5min后可以得到金屬電極厚度0.6~1.0μm、方塊電阻3~5Ω/□的電極層，其平均電導(dǎo)