1、機械設計制造及自動化（機電）專業(yè)畢業(yè)設計（論文） 機械設計制造及自動化（機電）專業(yè)畢業(yè)設計（論文）論文題目 硅單晶片有蠟拋光工藝自動貼片設 硅單晶片有蠟拋光工藝自動貼片設備設計 備設計學生姓名 方勇華 學 號 20081330070981 指導教師 姜獻華 專 業(yè) 機械設計制造及自動化（機電）年 級 2008 年春季

2、 學 校 浙江電大開化分校 硅單晶片有蠟拋光工藝自動貼片設備設計 硅單晶片有蠟拋光工藝自動貼片設備設計[摘要]：當今社會以進入了電子信息的時代，微處理芯片的發(fā)明徹底改變了世界，微電子、信息技術的水平己被視為一個國家現(xiàn)代化水平的重要標志。IC 級硅單晶拋光片是半導體芯片和功率集成電路的主體功能材料，也是多種高能探測器和特殊功率器件等的主體功能材料。在目前國內(nèi)剛開始研發(fā)硅單晶拋光片的初期，需要硅行業(yè)產(chǎn)家自己開發(fā)一些簡

3、單實用的設備，對生產(chǎn)工藝進行初步的研究和探索，以便為將來批量生產(chǎn)提供確實可行的生產(chǎn)依據(jù)。硅單晶片拋光工藝是 IC 級半導體晶片加工中最關鍵的生產(chǎn)環(huán)節(jié)，本自動貼片設備就是針對解決硅片拋光生產(chǎn)中，有蠟拋光生產(chǎn)工藝出現(xiàn)問題。[關鍵詞]：硅單晶片 有蠟拋光 自動貼片緒論本設計為硅單晶片拋光片無蠟拋光工藝生產(chǎn)設備，設計的目是為了改善有蠟拋光生產(chǎn)工藝的參數(shù)提高產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性并有效降低生產(chǎn)成本和工人勞動強度。本設計設備所需完成的生產(chǎn)工作，是基于有蠟

4、拋光生產(chǎn)工藝手工操作全過程演變而來。本文將簡單介紹硅單晶片有蠟拋光生產(chǎn)工藝流程，著重講解本設備機械自動化各部件的設計思路、設計目和本設計設備的工作原理和自動化運行全過程。本設備在功能設計方向，充分考慮生產(chǎn)需要和人身、產(chǎn)品、設備的安全。本設備在自動化設計方向，充分利用了中央廣播電視大學本科學習所掌握的機械自動技術。第一章 第一章 硅拋光片基本概念和工藝介紹 硅拋光片基本概念和工藝介紹1.1 硅單晶拋光片的定義硅單晶拋光片的定義：通過化學和

5、機械作用，來獲得的表面無損傷、平整、光亮鏡面的硅單晶硅片，稱為硅單晶拋光片。 硅單晶拋光片有許多定性的參數(shù)如 TTV、TIR、STIR、TAPER 等，因為下游產(chǎn)品的要求不同，沒有一個確定的數(shù)值。1.2 有蠟拋光片工藝常用配件簡介硅單晶拋光片在使用手動貼片的有蠟拋光工藝生產(chǎn)過程中，常用到一些設備或工具，通過了解常用設備或工具的性能，能更好的了解硅片自動貼片設備對有蠟拋光工藝帶來的影響和提高。在手動貼片有蠟拋光工藝中，常用的設備或工具有：