1、對于扭曲型液晶空間光調(diào)制器（TN-LCSLM)而言，其相位調(diào)制深度將受到液晶前后面偏振片放置角度的影響，因此在使用前必須對其相關(guān)參數(shù)進行實驗測量。論文以大恒公司透射式TN-LCSLM作為測量對象，確定其扭曲角、建立馬赫-曾德爾干涉系統(tǒng)測量其相位調(diào)制深度，并在最大相位調(diào)制深度位置測量了相位及振幅調(diào)制特性。通過實驗測量結(jié)果證實，該SLM可實現(xiàn)調(diào)制深度約1.3λ的純相位調(diào)制。
　　目前針對零扭曲液晶空間光調(diào)制器（ZTN-LCSLM)的相

2、位調(diào)制特性測量方法有很多，但是存在不同的局限性，其中最大的問題是測量過程易受環(huán)境振動影響、求解過程繁瑣。論文利用ZTN-LCSLM的偏振分光原理，提出一種共光路干涉法來測量其相位調(diào)制特性曲線。入射的線偏振被LCSLM分為兩束正交線偏振光，它們沿相同光路傳播至渥拉斯頓棱鏡（W P)經(jīng) WP出射的兩光束產(chǎn)生橫向剪切，同時，WP也會在兩光束間引入傾斜調(diào)制；這樣當兩光束再經(jīng)過檢偏器后便可產(chǎn)生載波干涉條紋。通過應(yīng)用傅里葉變換法可計算得到兩幀干涉條

3、紋之間的相對相移量，進一步測量可得到LCSLM的整體相位調(diào)制特性。
　　LCSLM的生成（或擬合）像差與理論加載像差的一致程度，決定了器件的相位調(diào)制精度，也對器件應(yīng)用范圍具有重要影響，例如是否可以應(yīng)用于高精度光學衍射元件，如衍射透鏡。而目前針對生成像差的測量方法一般使用商業(yè)數(shù)字干涉儀，或自己建立干涉系統(tǒng)，由此帶來的缺陷使測量過程不便捷、測量結(jié)果不客觀并存在系統(tǒng)誤差，從而不便于進行深入的科學研究。論文提出一種共光路干涉儀測量ZTN-