1、X射線熒光分析是一種用于化學元素定性和定量分析的方法。在20世紀70年代初能量色散X射線熒光分析儀正式跨入分析儀器的行列，并且作為一種重要的分析工具被廣泛應用于地質(zhì)、冶金、石油化工、刑偵、考古、半導體工業(yè)和醫(yī)藥衛(wèi)生等領(lǐng)域。
　　能量分辨率是考察能量色散X熒光分析儀性能的一個重要指標，它不僅與探測器自身的分辨率有關(guān)，還與后續(xù)電路的性能有關(guān)。為了改善儀器的能量分辨率，本設(shè)計采用半導體探測器XR-100CR，其分辨率高達145eV，并帶

2、有前置放大器，提高了儀器的抗干擾性。在后續(xù)電路的設(shè)計中通過優(yōu)化成形放大電路和峰值保持電路來改善儀器的能量分辨率。同樣，穩(wěn)定性也是考察儀器的一個重要指標，它主要包括電路的穩(wěn)定性和通信的穩(wěn)定性。為了保證電路的穩(wěn)定性，在電路設(shè)計時添加了一些抗干擾設(shè)置。為了保證通信的穩(wěn)定性，在上位機和下位機通信時采用握手信號進行交流。
　　本文研制的多道能量色散X射線熒光分析儀，以國產(chǎn)Mo靶X射線管為激發(fā)源，并根據(jù)X光管的特性確定了熒光的最佳激發(fā)范圍。此