有像差系統(tǒng)的曝光拼接光柵關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、脈沖壓縮光柵是超強(qiáng)超快激光系統(tǒng)中的關(guān)鍵元件。隨著強(qiáng)激光系統(tǒng)不斷升級(jí),啁啾脈沖壓縮系統(tǒng)對(duì)大面積光柵有急迫的需求。在單次曝光獲取大口徑光柵能力有限的情況下,全息光柵曝光拼接法成為獲取大口徑光柵的有效手段。由于脈沖壓縮光柵對(duì)衍射波面的要求極其苛刻,大口徑全息曝光系統(tǒng)的穩(wěn)定性和像差已經(jīng)成為進(jìn)一步提高拼接光柵口徑需克服的主要問(wèn)題。本研究主要內(nèi)容包括:
 ?、抨U述了大面積光柵的應(yīng)用背景和研究狀況,指出了大面積脈沖壓縮光柵設(shè)計(jì)與制造的重要性。對(duì)

2、幾種主要光柵拼接方法進(jìn)行了介紹,分析了各種光柵拼接方法的優(yōu)缺點(diǎn)。光柵遠(yuǎn)場(chǎng)衍射光斑能量分布是評(píng)價(jià)拼接光柵的主要依據(jù)。根據(jù)基爾霍夫衍射理論,模擬了光柵拼接誤差對(duì)衍射波面及其遠(yuǎn)場(chǎng)衍射光斑能量分布的影響。通過(guò)模擬波面像差,得到了對(duì)準(zhǔn)拼接波面PV值、拼接處波面誤差均方根值。對(duì)大量拼接波面及遠(yuǎn)場(chǎng)衍射光斑特性統(tǒng)計(jì)分析后,得到了有像差情況下的光柵拼接精度要求,為后續(xù)光柵拼接實(shí)驗(yàn)提供了評(píng)價(jià)參考。為使遠(yuǎn)場(chǎng)衍射光斑能量分布更好,提出了波面并列拼接法。對(duì)并列拼

3、接波面峰谷值和遠(yuǎn)場(chǎng)衍射光斑能量分布也進(jìn)行了統(tǒng)計(jì)分析。雖然對(duì)于某種波面像差而言,無(wú)法確認(rèn)哪種拼接方法更好。但是統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)表明,并列拼接波面PV值更小,遠(yuǎn)場(chǎng)衍射光斑能量分布情況更好。
 ?、苹跐撓窆鈻牌唇臃?,對(duì)大口徑光柵拼接系統(tǒng)誤差、穩(wěn)定性進(jìn)行了研究,為此設(shè)計(jì)了三維條紋鎖定系統(tǒng)。針對(duì)波面像差導(dǎo)致干涉條紋扭曲現(xiàn)象,提出了三種條紋鎖定方案。通過(guò)實(shí)驗(yàn)表明光場(chǎng)光柵與參考光柵之間的周期、相位和傾斜角誤差不斷隨環(huán)境變化。測(cè)試了三維條紋鎖定系統(tǒng)對(duì)干

4、涉條紋的鎖定效果,結(jié)果表明全息曝光系統(tǒng)的穩(wěn)定性和曝光對(duì)比度均得到了提高。
  ⑶基于大面積光柵拼接,提出了有像差情況下的光柵拼接方法,分析了像差導(dǎo)致光柵拼接誤差的原因,提出了曝光系統(tǒng)像差測(cè)量方法,用預(yù)制參考干涉條紋補(bǔ)償像差產(chǎn)生的拼接誤差。為提高光柵遠(yuǎn)場(chǎng)衍射光斑能量,設(shè)計(jì)了光柵對(duì)準(zhǔn)拼接和并列拼接兩種實(shí)驗(yàn)方案,并進(jìn)行了模擬光柵拼接。在不同像差情況下,利用三維條紋鎖定系統(tǒng)進(jìn)行了多次光柵拼接。結(jié)果表明:曝光系統(tǒng)像差對(duì)光柵拼接誤差有影響,參

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