溶膠-凝膠法制備LiNbO-,3-薄膜的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、鈮酸鋰(LiNbO3)晶體因具有優(yōu)良的電光、熱電、壓電、光折變和非線性光學(xué)效應(yīng)等一系列特殊性質(zhì)，成為目前用途最廣泛的新型無(wú)機(jī)材料之一。80年代末以來(lái)，光電子技術(shù)和薄膜制備工藝的飛躍發(fā)展，使得利用鈮酸鋰薄膜制成新一代光學(xué)集成器件成為可能。鈮酸鋰薄膜因其具有易于器件集成、體積小、響應(yīng)快等優(yōu)點(diǎn)正受到越來(lái)越多的關(guān)注。目前LiNbO3薄膜的制備方法主要有：濺射(sputtering)法、脈沖激光沉積(PLD)法、金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD

2、)法和溶膠-凝膠(sol-gel)法等。本課題是采用溶膠-凝膠法來(lái)制備鈮酸鋰薄膜。 在本研究中，以乙醇鋰(LiOC2H5)粉末和乙醇鈮(Nb(OC2H5)5)溶液為初始原料來(lái)制備鈮酸鋰粉末和鈮酸鋰薄膜。首先以無(wú)水乙醇為溶劑通過(guò)一定條件反應(yīng)合成雙金屬醇鹽LiNb(OC2H5)6，再在同樣的反應(yīng)條件下水解雙金屬醇鹽，得到乳脂狀沉淀。經(jīng)過(guò)濾、干燥得到膠體。將一部分膠體熱處理后得到鈮酸鋰粉末；用去離子水和醋酸配制一定摩爾濃度的LiNbO

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