1、油擴(kuò)散泵是目前用來(lái)獲得高真空的工具之一，其應(yīng)用領(lǐng)域較為廣泛。它具有成本低，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造容易、無(wú)機(jī)械傳動(dòng)、無(wú)振動(dòng)、無(wú)噪聲、操作方便、便于維護(hù)、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。油擴(kuò)散泵的抽氣速率和返油率是反應(yīng)油擴(kuò)散泵工作性能的重要指標(biāo)，而如何提高油擴(kuò)散泵的抽氣速率和降低返油率一直是相關(guān)研究單位關(guān)注的重點(diǎn)。
　　一般來(lái)說(shuō)，在結(jié)構(gòu)上影響擴(kuò)散泵抽速的因素主要是噴嘴直徑、噴嘴喉部間隙、各級(jí)間距、腔體形狀等。本文通過(guò)對(duì)KT-400油擴(kuò)散泵的設(shè)計(jì)計(jì)算初步確定了油

2、擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)尺寸，利用Solidworks進(jìn)行三維建模并使用計(jì)算流體力學(xué)的軟件Fluent對(duì)噴嘴結(jié)構(gòu)、張角角度、喉部間隙和各級(jí)的級(jí)間間距進(jìn)行數(shù)值模擬并加以優(yōu)化，同時(shí)也對(duì)擋油帽、擋油環(huán)和凸腔腔體對(duì)蒸汽射流的影響做了數(shù)值模擬。
　　通過(guò)數(shù)值模擬結(jié)果得出，噴嘴的結(jié)構(gòu)可以影響被噴出的蒸汽射流的速度;噴嘴張角越大蒸汽射流速度越大;喉部間隙越小蒸汽射流速度越大;各級(jí)間間距是存在最優(yōu)值的;各級(jí)間間距越大，從一級(jí)噴嘴噴射出的蒸汽射流速度越小;級(jí)間