1、過去的一個世紀,宏觀水力機械空化已經(jīng)得到了充分的研究。水力機械中的空化會造成一系列的危害:噪聲、腐蝕、降低效率等等,現(xiàn)有的空化知識對宏觀尺度水力機械的設計提供了很大的幫助。隨著微加工技術的進步,微流控技術得到了快速的發(fā)展,眾多功能各異、結(jié)構多樣的微流體元件應運而生,包括各種微型閥、微型泵,早已得到廣泛應用的計算機打印噴墨系統(tǒng),以及近幾年來發(fā)展迅速,用于生物、化學分析的lab-on-chip系統(tǒng),甚至微型火箭發(fā)射的燃料系統(tǒng)。這些微流體系統(tǒng)

2、在設計和使用過程遇到的諸多問題中往往同樣包含著空化現(xiàn)象,但以往對于這種微尺度下空化現(xiàn)象的研究極度缺乏。本文通過一套微空化發(fā)生及觀測裝置,對微空化的特征做一些初步的探索。
　　 第一章介紹了課題的研究背景及意義,分析了宏觀空化和微觀空化的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀,闡述了本課題的主要研究目標及研究內(nèi)容。
　　 第二章詳細介紹了微流體芯片的設計,加工過程,并分別用硅片和玻璃兩種基材進行了對比實驗,積累了濺射,刻蝕,封裝的相關參數(shù)。