1、回音廊模式微腔由于具有品質(zhì)因數(shù)高、模式體積小等諸多優(yōu)異特性，受到了研究人員的廣泛關(guān)注。基于回音廊模式微腔目前已經(jīng)開展了諸如倍頻、參量震蕩、受激布里淵/拉曼散射等非線性光學(xué)效應(yīng)的研究。鈮酸鋰晶體作為一種常用的非線性光學(xué)晶體，是開展回音廊模式微腔中非線性光學(xué)研究的良好選擇。目前通過(guò)機(jī)械研磨拋光的方法加工毫米尺寸鈮酸鋰回音廊模式微腔的技術(shù)已經(jīng)相對(duì)成熟，但是由于鈮酸鋰晶體具有很高的抗化學(xué)刻蝕性，高品質(zhì)因數(shù)的微米尺寸鈮酸鋰回音廊模式微腔的制備仍是

2、一個(gè)難點(diǎn)。
　　本文研究的主要內(nèi)容為微米尺寸鈮酸鋰晶體微腔的制備及其非線性光學(xué)效應(yīng)。首先，對(duì)回音廊模式微腔尤其是鈮酸鋰回音廊模式微腔的研究進(jìn)展進(jìn)行了簡(jiǎn)要介紹;接下來(lái)，對(duì)回音廊模式微腔的基本理論和實(shí)驗(yàn)方法進(jìn)行了介紹。在本文的主體部分，介紹了鈮酸鋰晶體微腔的制備、表征及其非線性光學(xué)效應(yīng)的理論研究。具體如下:
　　1、通過(guò)離子注入輔助濕法刻蝕的方法制備底切刻蝕鈮酸鋰微盤腔。利用光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡對(duì)制備的微腔進(jìn)行了表征。目前

3、，尚未得到理想的底切刻蝕，原因可能是離子注入束流較大。
　　2、通過(guò)脈沖激光沉積技術(shù)，在反楔形二氧化硅微盤腔上沉積鈮酸鋰薄膜的方法制備了鈮酸鋰二氧化硅復(fù)合腔。利用掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡、掠入射X射線衍射對(duì)微腔進(jìn)行了表征。對(duì)錐形光纖耦合的微腔的透射譜進(jìn)行了測(cè)量，得到的微腔品質(zhì)因數(shù)達(dá)到105。利用有限元方法對(duì)微腔的本征模式進(jìn)行了數(shù)值模擬。
　　3、基于耦合矩陣?yán)碚摵头蔷€性耦合模理論，研究了微米尺寸鈮酸鋰微腔中二次諧波和參量