1、稀磁半導(dǎo)體學(xué)是自旋電子學(xué)的一個(gè)重要分支。稀磁半導(dǎo)體是將磁性過渡金屬或稀土離子摻入傳統(tǒng)非磁性半導(dǎo)體并占掘其品格位置，通過磁性離子與非磁性離子之間的sp-d或RKKY交換作用使半導(dǎo)體的微觀磁矩在特定外界條件下具有一定取向性，并從宏觀上表現(xiàn)出磁性。稀磁半導(dǎo)體將同時(shí)利用載流子的電荷和自旋態(tài)兩個(gè)自由度，從而使得高密度半導(dǎo)體集成電路、非易失性存儲(chǔ)器等器件的實(shí)現(xiàn)成為可能。在稀磁半導(dǎo)體的多種基質(zhì)材料中，氧化鋅由于其具有獨(dú)特的光電特性及廣泛的潛在應(yīng)用背景

2、，成為近年來稀磁半導(dǎo)體研究中的熱點(diǎn)之一。 為尋找一種方便高效的稀磁半導(dǎo)體制備方法，本文分別利用磁控濺射和溶膠-凝膠法制備了鐵離子摻雜氧化鋅基稀磁材料，并對(duì)所制備材料的磁學(xué)和相關(guān)物理特性進(jìn)行了研究。 本文通過靶材局域摻雜的方式來實(shí)現(xiàn)磁控濺射法中鐵離子的摻雜，制備了多種不同鐵元素?fù)诫s濃度的氧化鋅薄膜。使用電感耦合等離子光譜儀ICP測(cè)量了薄膜中鐵離子的實(shí)際摻雜濃度，并通過X射線衍射研究了制備條件、高溫退火對(duì)薄膜結(jié)晶狀態(tài)的影響。

3、研究結(jié)果表明通過該方法制得了具有良好結(jié)晶狀態(tài)的氧化鋅薄膜。使用超導(dǎo)量子干涉儀對(duì)不同制備條件下的薄膜進(jìn)行了低溫磁滯回測(cè)量。 溶膠-凝膠法與磁控濺射技術(shù)相比具有易于控制摻雜量的特點(diǎn)。本文利用該方法和高溫?zé)Y(jié)相結(jié)合分別制備Zn1-xFexO稀磁半導(dǎo)體粉木和薄膜，討論了摻雜濃度對(duì)材料物理特性的影響，并對(duì)不同形態(tài)材料的晶格結(jié)構(gòu)、表面形貌進(jìn)行了比較分析。分別測(cè)量了粉末和薄膜樣品的磁化率隨溫度變化曲線以及磁滯回曲線。 通過對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)