溶劑熱合成cBN過程中的關鍵影響因素研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、立方氮化硼是一種集多種優(yōu)異功能于一身的材料,它的硬度僅次于金剛石,但穩(wěn)定性高于金剛石。立方氮化硼具有高穩(wěn)定性、高熱導率、高硬度以及寬帶隙等優(yōu)異的性能,使得它在高溫大功率半導體器件研制、短波長和紫外光電子器件制備、熱沉材料、切削和磨削材料、耐高溫耐磨防護涂層、高通透高穩(wěn)定性窗口研制等方面具有廣闊的應用前景。 在實際生產中,合成立方氮化硼的主要方法包括高溫高壓合成方法和氣相沉積法。 考慮到立方氮化硼晶體具有廣泛的應用前景,而

2、現有的制備方法又存在著難于克服的固有缺點,我們首先提出了“溶劑熱選相原位合成”法,并在反應原料和溶劑的選擇,實驗條件的優(yōu)化和實驗設備的改進做了相當的探索?;谝酝慕涷灒疚倪x擇苯作為溶劑,三氯化硼和氮化鋰作為反應原料,反應溫度設定為260℃,以壓強、加料次數和攪拌速度作為實驗參數,從三個方面研究實驗條件對反應產物中cBN含量的影響,并得出了一定的規(guī)律,具體如下: 當壓強在1MPa到7MPa范圍內,樣品的立方氮化硼相對含量隨壓強

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