硅微型機械振動陀螺儀的結(jié)構(gòu)設(shè)計與軟件實現(xiàn).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、硅微型機械振動陀螺儀是近十幾年發(fā)展起來的一種新型陀螺儀,是MEMS的重要組成部分之一。隨著計算機軟件的發(fā)展,硅微型機械振動陀螺儀的計算機輔助設(shè)計得到迅猛發(fā)展,并加速了硅微型機械振動陀螺儀的發(fā)展。 本文應(yīng)用陀螺儀基本理論和材料力學(xué)理論,對硅微型機械振動陀螺儀的工作機理和結(jié)構(gòu)設(shè)計進行了全面的研究。在此基礎(chǔ)上,建立了常用的三種結(jié)構(gòu)形式的硅微型機械振動陀螺儀的優(yōu)化設(shè)計數(shù)學(xué)模型。在研究優(yōu)化設(shè)計方法的基礎(chǔ)上,選擇適合于陀螺儀優(yōu)化設(shè)計的方法

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