1、在眾多氣體檢測方法中，紅外氣體檢測法以其高靈敏度﹑高選擇性的特點得到了廣泛地應用。尤其是具有低噪聲﹑易調制等優(yōu)點的半導體激光器光源的出現，進一步提高了紅外氣體檢測法的靈敏度和精度。鑒于此，本文基于紅外吸收光譜法研制了一套水汽檢測系統(tǒng)。
　　本文基于水汽的近紅外吸收光譜，研究了近紅外吸收光譜法測量的基本原理和方法。測量的基礎為Lamber-Beer定律，在此基礎上利用HITRAN數據庫選擇了水汽在近紅外波段的三個波長（一個吸收峰，兩

2、個參考波長），采用三波段式方法，更好地消除了測量誤差。選用分布反饋半導體激光器（DFB-LD）作為光源，利用鎖相放大技術檢測信號，研制了一套水汽濃度檢測系統(tǒng)。該系統(tǒng)主要有光學系統(tǒng)單元﹑激光驅動電路單元﹑光電信號調理電路單元﹑光電信號采集與處理電路單元﹑顯示電路單元組成。系統(tǒng)采用TMS320F2812型號DSP作為核心處理器。對研制好的系統(tǒng)進行了標定，得到了水汽濃度與三個波長下得到的相應電壓值之間的擬合曲線和標定方程，此曲線和方程作為計算