1、電液伺服閥是電液伺服控制系統(tǒng)的重要部件。它廣泛應(yīng)用于航天、航空、航海的航行控制，其性能直接影響整個系統(tǒng)的運動精度，因而在工業(yè)及武器系統(tǒng)中占有重要地位。電液伺服閥的功率級一般為滑閥副，起液壓放大器的作用。
　　滑閥副由閥芯、閥套兩部分組成，是借兩者的相對運動來改變閥口過流面積，以達到液流控制的目的，是伺服閥的核心零件，尺寸及形位公差要求極嚴，通常對閥套內(nèi)孔的技術(shù)要求為圓柱度和直線度控制在0.001mm之內(nèi)。閥套內(nèi)孔細長，相貫孔多，形

2、狀公差測量困難，主要靠手工研磨及試裝完成加工，無法采用通用的測量設(shè)備進行檢測，造成加工周期大幅度延長。
　　本文針對目前我國伺服滑閥副生產(chǎn)領(lǐng)域的現(xiàn)狀，利用氣動測量原理開發(fā)了閥套內(nèi)孔形狀誤差自動化測量設(shè)備。本文首先引入了噴嘴擋板機構(gòu)，并分析其特點；然后利用matlab工具，確定了測量系統(tǒng)的線性工作區(qū)，測量間隙；之后設(shè)計了測頭及校對規(guī)，并為其配備了節(jié)流孔可調(diào)的差壓式測量氣路。依據(jù)相關(guān)的理論基礎(chǔ)，本文制定了測量方案。根據(jù)測量方案中提出的