真空微電子加速度傳感器相關(guān)理論與實(shí)驗(yàn)研究.pdf_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè)，還剩61頁(yè)未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、基于MEMS技術(shù)的真空微電子加速度傳感器是高精度MEMS加速度傳感器的新探索，該加速度傳感器具有體積小、靈敏度高、抗輻射、可批量生產(chǎn)等諸多優(yōu)點(diǎn)，在交通、航空、航天、精確制導(dǎo)武器等領(lǐng)域都有廣闊的應(yīng)用前景。開(kāi)展新型MEMS真空微電子加速度傳感器相關(guān)基礎(chǔ)理論的探索研究，具有重要的理論意義與應(yīng)用背景。
　　 本文在分析力平衡式真空微電子加速度傳感器的結(jié)構(gòu)和工作原理基礎(chǔ)上，研究了靜電力對(duì)其剛度和固有頻率等特性的影響，建立了力平衡式真空微電

2、子加速度傳感器的閉環(huán)理論模型，從理論上分析了電路參數(shù)和偏置電壓等對(duì)傳感器性能的影響，并進(jìn)行了相關(guān)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。論文的主要工作如下：
　　 ①利用IntelliSuite軟件建立力平衡式真空微電子加速度傳感器慣性敏感元件的有限元模型，通過(guò)靜力分析與模態(tài)分析，獲得了傳感器的機(jī)械剛度、固有頻率等參數(shù)。
　　 ②分析了反饋電極之間的靜電力和陰極錐尖陣列與陽(yáng)極之間的靜電力對(duì)傳感器系統(tǒng)總剛度的影響，建立了力平衡式真空微電子加速度傳感器的

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論