1、微結構表面形貌測量的數(shù)字全息顯微方法的研究DigitalMicroholographyanditsApplicationtotheMeasurementof】Ⅵicrostructures學科專業(yè)：測試計量技術及儀器研究生：殷玉娟指導教師：胡曉東教授天津大學精密儀器與光電子工程學院二零一零年八月摘要微結構表面形貌的測量是微納測試技術的重要內(nèi)容之一，隨著微納加工技術的不斷發(fā)展，對其也提出了越來越高的要求。數(shù)字全息術是用數(shù)字的方式記錄和存儲

2、物體的全息圖，然后用計算機來再現(xiàn)其振幅和相位，具有全視場、非接觸、高測量分辨力等特點，因而在表面形貌、形變、粒子場、材料特性等參數(shù)的測量中得到了較為廣泛的應用。數(shù)字全息顯微術是數(shù)字全息術和顯微術結合的產(chǎn)物，相比于其他微結構表面形貌測量技術出現(xiàn)較晚，雖然目前已得到了國內(nèi)外很多研究者的關注，仍存在很多技術問題待于解決。本文針對微結構表面形貌測量的需求，對數(shù)字全息測量技術進行了理論分析，設計和研制了一套基于馬赫曾德耳干涉儀的數(shù)字全息顯微測試系

3、統(tǒng)，并對若干微結構表面形貌的測量進行了實驗研究。本文的具體工作主要包括：1對數(shù)字全息術和微結構表面形貌測量的研究動態(tài)進行了論述，并就數(shù)字全息顯微術的應用特點進行了分析；2對數(shù)字全息術中的數(shù)字全息的記錄和再現(xiàn)進行了理論分析，并設計了表面形貌測量的數(shù)據(jù)處理算法；3設計并研制了一套基于馬赫曾德耳干涉儀的數(shù)字全息顯微測試系統(tǒng)，并編寫了相應的測量軟件；4在所研制的數(shù)字全息顯微測試系統(tǒng)上開展了微結構表面形貌測量的實驗研究，包括測量精度的評定、超精密