1、在超精密加工、微機(jī)電系統(tǒng)制造領(lǐng)域,微結(jié)構(gòu)的表面三維形貌會(huì)顯著地影響器件的使用性能及產(chǎn)品質(zhì)量,其測(cè)量方法研究是微納測(cè)試領(lǐng)域的一個(gè)重要研究方向。白光干涉技術(shù)作為一種非接觸測(cè)量方法,具有高精度、無(wú)損和快速的優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于微結(jié)構(gòu)表面形貌的測(cè)量。區(qū)別于通常使用的CCD黑白相機(jī),利用CCD彩色相機(jī)采集白光干涉條紋的圖像,包含了R、G、B三個(gè)通道,可以保留其顏色信息。針對(duì)采集的白光干涉彩色圖像,本文提出了RGB相位交叉測(cè)量法和多波長(zhǎng)RGB相移干涉

2、測(cè)量法,用于物體表面形貌的測(cè)量。論文的主要工作如下:
　　1.在比較微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量方法和分析基于白光干涉彩色圖像測(cè)量物體形貌的研究現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上,提出了兩種基于白光干涉彩色圖像處理的微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量方法。
　　2.提出了在白光垂直掃描干涉測(cè)量中基于彩色條紋圖像的RGB相位交叉法,利用小波變換法分別求解出在不同掃描位置處R、G、B通道的相位信息,通過(guò)
　　建立評(píng)價(jià)函數(shù),并結(jié)合最小二乘法可精確地確定零光程差的位置,進(jìn)而

3、得到物體的表面形貌,通過(guò)仿真分析驗(yàn)證了所提出方法的有效性,此外,與傳統(tǒng)地使用灰度圖像測(cè)量物體形貌相比,利用彩色圖像處理可使測(cè)量精度有所提高。
　　3.提出了多波長(zhǎng)RGB相移干涉法,基于彩色條紋圖像,利用R、G、B三個(gè)通道信息,一次測(cè)量即可實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)相移干涉。首先,利用小波變換法獲取彩色圖像R、G、B三個(gè)通道的中心波長(zhǎng),分析了不同相位提取算法的測(cè)量精度;然后,分別利用等效波長(zhǎng)法、斜率法、條紋級(jí)次法求解物體的高度信息,并通過(guò)仿真分析,