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![基于白光干涉的絕對(duì)距離測(cè)量方法的研究.pdf_第1頁(yè)](https://static.zsdocx.com/FlexPaper/FileRoot/2019-3/14/18/4f820dc3-fce8-4f69-b348-1b385946b3e3/4f820dc3-fce8-4f69-b348-1b385946b3e31.gif)
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1、隨著工業(yè)的發(fā)展,產(chǎn)品的測(cè)量精度有待進(jìn)一步提高,絕對(duì)距離的測(cè)量裝置在近幾年更是需要改善。為此本課題研究了一種基于白光干涉測(cè)量裝置來(lái)測(cè)量絕對(duì)距離。本論文從理論研究和實(shí)用角度出發(fā),深入研究了白光譜域干涉的原理和特性,介紹了通過(guò)分析白光干涉光譜進(jìn)行絕對(duì)距離測(cè)試的方法。文章主要研究白光干涉測(cè)量系統(tǒng):利用白光Michelson干涉儀組成的干涉系統(tǒng),USB2000光纖光譜儀來(lái)接收與絕對(duì)距離相關(guān)的干涉光譜信號(hào)。文章詳細(xì)論述了系統(tǒng)的測(cè)量原理、測(cè)量裝置、數(shù)
2、據(jù)處理及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。在本論文研究的系統(tǒng)的最后輸出信號(hào)只與干涉儀的臂長(zhǎng)差有關(guān),而與其在測(cè)量光路的相位無(wú)關(guān),因此,該測(cè)量系統(tǒng)有效地提高了系統(tǒng)的抗振能力;同時(shí),利用頻譜域白光干涉原理提高了測(cè)量范圍和抗干擾能力。 本論文討論了白光干涉譜分析基礎(chǔ)上的絕對(duì)距離測(cè)量方法,利用光程差大于相干長(zhǎng)度時(shí)進(jìn)行譜域干涉的特性,提高了白光干涉法測(cè)量的動(dòng)態(tài)范圍。采用的白光干涉譜數(shù)據(jù)處理方法,從理論和技術(shù)上解決了白光干涉絕對(duì)距離測(cè)量技術(shù)中影響系統(tǒng)精度的核心問(wèn)題,
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