1、微納定位技術是微納制造、微觀成像、納米壓印、硬盤高密度數(shù)據(jù)存儲及光刻等諸多行業(yè)的核心共性技術。相關精密工程技術的飛速發(fā)展，對微納定位系統(tǒng)的性能提出了更嚴苛的要求。由于設計誤差、仿真分析中的不確定性和加工制造過程中不可避免的誤差，精密定位機構常常無法達到理想的動態(tài)特性輸出，無法適應復雜環(huán)境和不同工況條件下的定位工作。這些不足都限制了精密定位機構的應用范圍，因此研究人員引入動態(tài)特性可調機構來避免各種誤差的影響。微定位平臺是精密定位機構的關鍵

2、核心部件，進行微定位平臺的動態(tài)特性可調研究將會進一步促進精密定位機構的發(fā)展。
　　針對動態(tài)特性可調的微定位平臺的設計與建模，本文做了一些探索性的工作。主要內容為:基于應力剛化原理設計了一種基于橋式機構的動態(tài)特性可調的微定位平臺;根據(jù)柔度矩陣、梁變形理論以及振動理論等建立了該動態(tài)平臺的放大比模型、輸入剛度模型和動力學模型;采用有限元的方法對動態(tài)平臺的動態(tài)特性進行了仿真分析研究。
　　本文設計的動態(tài)平臺運動部分主要包括動態(tài)平臺調

3、節(jié)機構與橋式放大機構。
　　在實現(xiàn)微定位平臺的動態(tài)特性可調的基礎上，為保證盡可能大的輸出位移和較好的導向性能，本文所設計的動態(tài)平臺調節(jié)機構采用對稱布置的柔性板簧導向結構。根據(jù)應力剛化原理，當板簧中存在應力時，板簧的剛度將會發(fā)生變化，因此改變板簧的內應力可以實現(xiàn)動態(tài)平臺調節(jié)機構的動態(tài)特性調節(jié)。本文以此建立了動態(tài)平臺調節(jié)機構應力剛化下的輸入剛度模型、一階模態(tài)模型，并采用有限元的方法對該模型進行了驗證，證明了所建理論模型的有效性。

4、>　　為滿足高精度的應用需求，本文設計的動態(tài)平臺采用具有高剛度、高分辨率和高響應速度等優(yōu)點的壓電陶瓷作為驅動元件。但壓電陶瓷驅動器的直接輸出位移約為自身長度尺寸的千分之一，為了實現(xiàn)較大的輸出位移，采用具有高放大比、結構緊湊、易于加工等優(yōu)點的橋式機構作為位移放大機構，并基于柔度矩陣建立了橋式機構的放大比模型和輸入剛度模型，采用有限元的方法對所建立的理論模型進行了驗證。
　　最后推導了動態(tài)平臺調節(jié)機構作為外負載的整個動態(tài)平臺的放大比模