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文檔簡介
1、本文基于微電子工藝和電化學陽極氧化方法給出一種硅基納米多孔氧化鋁濕度傳感器,該結構由硅基襯底、多孔氧化鋁膜和電極構成?;诟袧駲C理和吸附-解吸附機理,該傳感器可以實現(xiàn)對濕度的檢測。在此基礎上,采用COMSOL仿真軟件分別構建具有平板電極結構和叉指電極結構的濕度傳感器仿真模型并進行仿真分析。本文利用直流電源(IT6874A)、低溫恒溫反應浴(DFY-5/10℃)和計算機等裝置搭建的電化學陽極氧化系統(tǒng),采用電化學陽極氧化方法制備納米多孔氧化
2、鋁(NP-AAO)薄膜。通過掃描電子顯微鏡(SEM S-3400N)對NP-AAO薄膜的微結構進行形貌分析,研究影響薄膜微結構的因素,例如氧化電壓、草酸溶液濃度和氧化時間等,從而分析影響傳感器感濕特性的因素。最后設計出叉指電極掩膜版,基于微電子工藝在多孔氧化鋁膜表面上制作出叉指電極,完成傳感器的制作。
在室溫條件下,本文利用阻抗分析儀(LCR-TH2819A)、飽和鹽溶液和計算機等儀器搭建的傳感器測試系統(tǒng),分別對硅基納米多孔氧
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