1、高精度陀螺作為慣性器件在軍事航天等領域具有關鍵性的作用，數字化接口電路可有效彌補陀螺機械敏感結構在加工過程中產生的非理想因素，本文便面向微機械硅陀螺進行數字化接口電路系統(tǒng)的設計與驗證。
　　本文根據C/V轉換電路，Sigma-Delta AD轉換器過采樣技術、噪聲整形技術與降采樣濾波技術的工作原理，針對MEMS陀螺微機械結構進行接口電路系統(tǒng)的總體方案設計。其中調制器模塊基于四階前饋Sigma-Delta調制器圍繞設計，并且針對調制

2、器完成了三級級聯(lián)結構的降采樣低通濾波器設計，三級結構包括級聯(lián)積分梳狀濾波器、CIC補償濾波器和半帶濾波器，并將數字抽取濾波方案進行C語言與匯編語言編程實現(xiàn)且進行功能性驗證，移植至數字信號處理模塊單元。系統(tǒng)硬件圍繞調制器模塊與數字信號處理模塊進行設計，數字信號處理模塊以數字信號控制器為核心搭建設計，完成DSV浮點數庫計算函數的移植，工業(yè)級RS485與SPI通訊接口開發(fā)，測試ADC模塊帶寬達到1kHz；系統(tǒng)溫度補償方案經過分析以微機械陀螺結