1、半導體制造技術在不斷變化，產(chǎn)品的多樣性，在工序的復雜度越來越高的狀態(tài)下，對設備的高精度化，設備的自動化程度也越來越高，而半導體制造業(yè)的設備價格也日益昂貴起來。其更新與維護占企業(yè)投資成本的最大比重，因此，挖掘出設備的最高利用率使其發(fā)揮其全部的生產(chǎn)能力為公司創(chuàng)造最大利潤是企業(yè)高管們都在思考的一個問題，也是企業(yè)決定芯片制造成本的重要因素之一。
　　本文所研究的內(nèi)容是當前 CIM系統(tǒng)中生產(chǎn)設備效能跟蹤系統(tǒng) OEE(Owerall Equi

2、pment Efficiency)系統(tǒng)，它是與半導體制造設備聯(lián)系得最為密切的應用程序。它通過與機臺連接的SECS（SEMI Equipment Communication Standard）通信協(xié)議取得以機臺的連接，從而達到自動收集設備生產(chǎn)運行數(shù)據(jù)用于設備效能計算，OEE系統(tǒng)將作為最底層的接口來實現(xiàn)CIM系統(tǒng)與設備效能管理系統(tǒng)的連接，并將數(shù)據(jù)以特定的格式寫入日志文件中。利用后臺腳本程序進行數(shù)據(jù)庫連接與操作，日志文本的獲取與解析，通過公司

3、網(wǎng)絡獲取各個OEE客戶端的日志文件，并運用OEE的后臺程序以相同的方法進行讀取，解析出所需的數(shù)據(jù)并把這些數(shù)據(jù)存入數(shù)據(jù)庫，再利用數(shù)據(jù)庫處理語言PL/SQL對數(shù)據(jù)進行分析，并把每種類型的設備數(shù)據(jù)進行匯總。從而計算機出切實有效的產(chǎn)能效率數(shù)據(jù)，使管理者清楚的知道當前的設備效率信息。更進一步，OEE系統(tǒng)不僅僅看到生產(chǎn)設備的運行效率信息，根據(jù)設備具體的各種操作運行的時間的統(tǒng)計，分析影響企業(yè)設備損失效率的關鍵因素。從而為企業(yè)提高生產(chǎn)力，減少浪費，節(jié)約