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![纖鋅礦AlGaN多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)中的聲學(xué)聲子模及對(duì)電子的散射.pdf_第1頁(yè)](https://static.zsdocx.com/FlexPaper/FileRoot/2019-3/14/17/38e8ac1b-82d1-4c92-8f3f-1987925b6bd7/38e8ac1b-82d1-4c92-8f3f-1987925b6bd71.gif)
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1、纖鋅礦非對(duì)稱AlxGa1-xN/GaN/AlyGa1-vN多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)不僅要比AlxGa1-xN/GaN單異質(zhì)結(jié)構(gòu)具有更高的二維電子氣(2DEG)濃度和電子遷移率,而且與實(shí)際高遷移率晶體管(HEMT)的結(jié)構(gòu)最為接近,因此被廣泛應(yīng)用于HEMT器件中.
本文主要研究非對(duì)稱纖鋅礦AlxGa1-xN/GaN/AlyGa1-yN異質(zhì)結(jié)多層結(jié)構(gòu)中聲學(xué)聲子模的色散性質(zhì)和聲子勢(shì)的三元混晶(TMC)效應(yīng)以及在此類多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)中2DEG分布隨混晶
2、組分的變化關(guān)系,并以此為基礎(chǔ)探討聲學(xué)聲子對(duì)電子的散射率.主要內(nèi)容和結(jié)論概括如下:
(1)在彈性連續(xù)模型框架內(nèi),通過(guò)對(duì)非對(duì)稱纖鋅礦AlxGa1-xN/GaN/AlyGa1-yN異質(zhì)結(jié)構(gòu)中聲學(xué)聲子模色散關(guān)系與聲子勢(shì)的TMC效應(yīng)計(jì)算可知,對(duì)于對(duì)稱結(jié)構(gòu),聲學(xué)聲子模色散性質(zhì)曲線斜率趨于四個(gè)極限值;而對(duì)于非對(duì)稱結(jié)構(gòu)則趨于六個(gè)極限值,并且具有更加復(fù)雜的聲學(xué)聲子模疊加效應(yīng).對(duì)于聲學(xué)聲子勢(shì),隨著左邊壘材料中Al組分的增加,聲子模式將轉(zhuǎn)變,聲子勢(shì)
3、則逐漸受到“限制”,從而向右邊壘移動(dòng),在GaN/AlyGa1-vN界面處會(huì)出現(xiàn)一極大值.其中,膨脹模聲子勢(shì)強(qiáng)于其它類型的聲學(xué)聲子勢(shì),對(duì)電子的散射占主導(dǎo)性地位.
(2)通過(guò)數(shù)值自洽迭代法聯(lián)立求解薛定諤(Schr(o)dinger)方程與泊松(Poisson)方程,獲得纖鋅礦非對(duì)稱AlxGa1-xN/GaN/AlyGa1-yN多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)的異質(zhì)結(jié)導(dǎo)帶、電子分布以及隨Al組分的變化關(guān)系.其結(jié)果表明,隨著混晶組分的增加,勢(shì)壘高度和內(nèi)建
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