1、聲表面波(Surface acoustic wave，SAW)生物傳感器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、免標(biāo)記、靈敏度高、能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)時(shí)檢測(cè)等優(yōu)點(diǎn)，具有應(yīng)用于臨床早期診斷的潛力。目前在生物傳感檢測(cè)領(lǐng)域，SAW傳感器尚未得到廣泛應(yīng)用，其中一個(gè)重要限制就是缺少一個(gè)快速、靈敏、穩(wěn)定的測(cè)試平臺(tái)。本文在對(duì)基于SAW器件的微流控生物檢測(cè)技術(shù)研究的基礎(chǔ)上，搭建一個(gè)完整的SAW生物傳感檢測(cè)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。
　　結(jié)合相關(guān)文獻(xiàn)，本文對(duì)Love波理論進(jìn)行了歸納、分析，主要對(duì)與器

2、件傳感檢測(cè)應(yīng)用密切相關(guān)的頻散理論、傳感原理和溫度效應(yīng)進(jìn)行了分析。在此基礎(chǔ)上，通過(guò)對(duì)器件的基底和波導(dǎo)材料的選擇、叉指換能器(Interdigital Transducer,IDT)參數(shù)設(shè)計(jì)完成LiTaO3/SiO2結(jié)構(gòu)的器件設(shè)計(jì)。根據(jù)器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)加工工藝，并利用微納加工技術(shù)完成了器件的制作。為適應(yīng)器件的特性檢測(cè)和適時(shí)檢測(cè)等需求，完成了基于測(cè)頻原理的振蕩檢測(cè)電路設(shè)計(jì)和直接數(shù)字式頻率合成(Direct Digital Synthesizer,

3、DDS)掃頻檢測(cè)電路的軟硬件設(shè)計(jì)，并在DDS掃頻檢測(cè)的基礎(chǔ)上完成了基于點(diǎn)頻激勵(lì)的相位檢測(cè)電路。設(shè)計(jì)了基于聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane，PDMS)微流芯片的流控進(jìn)樣系統(tǒng)。設(shè)計(jì)并制作完成了PDMS微流芯片，通過(guò)與傳感器表面敏感區(qū)域鍵合形成反應(yīng)腔，從而實(shí)現(xiàn)了微量、定量、可靠進(jìn)樣。通過(guò)實(shí)驗(yàn)研究了SiO2波導(dǎo)厚度與器件插損與頻率溫度靈敏度的關(guān)系，獲得了與理論描述基本一致的結(jié)果。利用生物修飾方法，分別構(gòu)建了能夠特異性識(shí)別