1、硫化氫氣體是一種無色、易燃、腐蝕性、具有臭雞蛋氣味的惡臭氣體。它是一種神經(jīng)毒劑,當(dāng)濃度超過一定范圍時對人體健康有致命危害。硫化氫的巨大危害,使得在工業(yè)生產(chǎn)和日常生活中對其進(jìn)行檢測具有重大的意義,同時能夠?qū)α蚧瘹錃怏w進(jìn)行快速和準(zhǔn)確的檢測一直是國內(nèi)外研究工作者的重大課題。本論文研究了基于不同敏感材料的硫化氫氣體傳感器的制備方法,測試了傳感器的氣敏性能,主要工作總結(jié)如下:
　　1.本論文中選擇的是叉指結(jié)構(gòu)的電阻式氣體傳感器。采用了兩種類

2、型的敏感材料,一種是碳納米管及其氯金酸摻雜的碳納米管復(fù)合材料;一種是有機物/碳納米管的復(fù)合材料,有機物分別是聚苯胺和DPPD。實驗采用氣噴工藝沉積敏感薄膜,制備了基于本征碳納米管、MWNTS/HAuCl4、PANI/MWNTs、DPPD/MWNTs復(fù)合膜的傳感器,通過搭建氣敏測試平臺在室溫下測試了這四種傳感器對硫化氫氣體的氣敏特性。
　　2.室溫下測試并分析比較了基于本征碳納米管和MWNTS/HAuCl4復(fù)合膜的傳感器對硫化氫氣體

3、的不同氣敏特性。實驗結(jié)果表明,MWNTS/HAuCl4復(fù)合膜對H2S的響應(yīng)遠(yuǎn)大于本征碳納米管的響應(yīng)。這兩種基于碳納米管的傳感器具有良好的快速響應(yīng)—恢復(fù)特性、重復(fù)性、穩(wěn)定性均較好,MWNTS/HAuCl4復(fù)合膜略差,基線漂移稍微嚴(yán)重些。同時,這兩種傳感器都是較理想的線性器件。但這兩種傳感器均表現(xiàn)出較差的選擇性,對干擾氣體的響應(yīng)相差不大。對兩種薄膜進(jìn)行表面形貌測試,發(fā)現(xiàn)摻雜氯金酸的碳納米管表面孔洞更多,吸附位更多,這能一定程度解釋氣敏性差異

4、的原因。最后,結(jié)合表面形貌對碳納米管敏感機理進(jìn)行了解釋。
　　3.室溫下測試并分析比較了基于PANI/MWNTs和DPPD/MWNTs復(fù)合膜的傳感器對硫化氫氣體的不同氣敏特性。實驗結(jié)果表面,PANI/MWNTs復(fù)合膜的傳感器響應(yīng)遠(yuǎn)大于DPPD/MWNTs復(fù)合膜,但在重復(fù)性、線性度、穩(wěn)定性上均不如后者,恢復(fù)性差,響應(yīng)時間長。另外,這兩種有機復(fù)合膜的傳感器在選擇性上均得到了不同程度的提高,尤其是PANI/MWNTs復(fù)合膜,DPPD/M