精密拼接光柵多自由度控制系統(tǒng)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、啁啾脈沖放大技術(shù)(Chirped Pulse Amplification—CPA)的快速發(fā)展和應(yīng)用促進(jìn)了高效率大口徑衍射光柵的需求,而大口徑的衍射光柵制備非常困難,面對(duì)這一困難,許多專(zhuān)家學(xué)者們開(kāi)始研究其他的方式來(lái)獲取大口徑衍射光柵,其中采用拼接的方法最為有效,而且已經(jīng)獲得了初步的研究成果。
  分析了光柵拼接需要控制調(diào)整的自由度,在此基礎(chǔ)上,根據(jù)精密拼接光柵亞微米量級(jí)的高精度和長(zhǎng)時(shí)間動(dòng)態(tài)穩(wěn)定的控制要求,確定了拼接光柵的多自由度驅(qū)動(dòng)

2、方式,選定壓電微位移驅(qū)動(dòng)器作為系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng),帶自修正因子的模糊控制作為系統(tǒng)閉環(huán)控制算法。建立了△形和L形兩種并聯(lián)驅(qū)動(dòng)模型的數(shù)學(xué)模型,并定性和定量分析了兩種驅(qū)動(dòng)模型下不同傳感器布置方式的誤差,得出△形驅(qū)動(dòng)模型下傳感器外圓周△形陣列布置較優(yōu),L形驅(qū)動(dòng)模型下外環(huán)L外側(cè)L陣列布置較優(yōu)。基于實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),設(shè)計(jì)了系統(tǒng)的帶自修正因子的模糊控制算法,建立了系統(tǒng)的傳遞函數(shù)模型,在Matlab環(huán)境下對(duì)系統(tǒng)作了模糊控制和帶自修正因子的模糊控制的階躍仿真,由仿真結(jié)果

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