1、精密氣浮工件臺具有定位精度高，運(yùn)動平穩(wěn)，響應(yīng)快等許多優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于IC制造裝備中。工件臺的動態(tài)性能直接決定了IC裝備的工作性能。隨著計算機(jī)仿真技術(shù)的快速發(fā)展，仿真技術(shù)已經(jīng)成為精密氣浮工件臺系統(tǒng)的重要分析和設(shè)計手段之一，然而精密氣浮工件臺是涉及機(jī)、電、液、磁、控、熱等多個學(xué)科的復(fù)雜系統(tǒng)，工件臺系統(tǒng)的工作性能受多方面因素的影響。現(xiàn)有的仿真軟件對多學(xué)科統(tǒng)一建模，在統(tǒng)一平臺下完成系統(tǒng)仿真分析支持有限。針對這一問題，本文基于多領(lǐng)域統(tǒng)一建模技

2、術(shù)和多學(xué)科設(shè)計優(yōu)化技術(shù)，對氣浮工件臺系統(tǒng)的建模仿真和參數(shù)優(yōu)化技術(shù)進(jìn)行了研究。
　　建立了工件臺三維幾何模型，實(shí)現(xiàn)了從幾何模型中自動導(dǎo)出尺寸，質(zhì)量，轉(zhuǎn)動慣量等信息至剛體模型中的功能。建立工件臺等效多剛體模型，基于動力學(xué)分析軟件Adams詳細(xì)分析了工件臺系統(tǒng)的振動特性。分析了氣浮軸承的工作原理及其結(jié)構(gòu)形式，基于Modelica語言建立了氣浮軸承模型，在Mworks平臺上進(jìn)行了仿真實(shí)驗(yàn)。基于多學(xué)科設(shè)計優(yōu)化軟件 ModelCenter建立