1、精密工作臺是表面形貌測量系統(tǒng)重要的功能部件,起著掃描驅(qū)動(dòng)和測量基準(zhǔn)的作用。表面形貌測量技術(shù)的不斷發(fā)展對工作臺的精度和范圍提出了更高的要求,研制高精度、大范圍的工作臺具有重要的意義。
　　本文提出了大行程共基面二維工作臺的設(shè)計(jì)方案,其中,機(jī)械結(jié)構(gòu)采用共基面設(shè)計(jì),X和Y方向運(yùn)動(dòng)模塊位于同一基準(zhǔn)平面上,能有效減小阿貝誤差,提高了工作臺運(yùn)動(dòng)平面度;采用步進(jìn)電機(jī)配合絲杠進(jìn)行工作臺的驅(qū)動(dòng),使用滾柱導(dǎo)軌進(jìn)行導(dǎo)向;采用光柵尺作為閉環(huán)定位控制的反饋

2、檢測單元。同時(shí),本文對重要零部件和結(jié)構(gòu)進(jìn)行了選型分析,運(yùn)用ANSYS軟件進(jìn)行了關(guān)鍵零部件的靜應(yīng)力分析和參數(shù)設(shè)計(jì)。
　　工作臺閉環(huán)定位控制采用PC配合運(yùn)動(dòng)控制卡的控制模式,其中運(yùn)動(dòng)控制卡為本實(shí)驗(yàn)室自主設(shè)計(jì)。工作臺控制軟件以VisualStudio2008為平臺,通過對電機(jī)的加減速閉環(huán)控制來實(shí)現(xiàn)工作臺的精確定位。
　　最后,對工作臺進(jìn)行了組裝測試,測試項(xiàng)目包括定位精度、直線度和垂直度,并針對測量結(jié)果進(jìn)行了誤差分析和軟件補(bǔ)償,使工