1、直線驅(qū)動氣浮工作臺具備摩擦低、傳動環(huán)節(jié)少的特點(diǎn)，其精度比傳統(tǒng)的機(jī)械式工作臺高兩個數(shù)量級，因此成為精密運(yùn)動平臺的首選。氣膜流場內(nèi)的漩渦和壓力不均勻會引起工作臺的微振動現(xiàn)象，雖然目前氣浮工作臺已經(jīng)應(yīng)用于精度高達(dá)38nm的光刻機(jī)掃描定位工作臺，但是隨著技術(shù)的發(fā)展，對氣浮工作臺的精度要求不斷提高，微振動現(xiàn)象已經(jīng)成為氣浮工作臺向更高精度發(fā)展的掣肘。本文從CFD計算法分析工作臺氣體流場、諧響應(yīng)法分析氣體流場作用下下工作的振動響應(yīng)、氣浮工作臺的振動信

2、號分析三個方面入手，對氣體流場下氣浮工作臺的振動特性展開研究，主要內(nèi)容包括:
　　1、從流致振動的原理入手，研究氣膜的氣體流場對氣浮工作臺微振動的影響機(jī)理。采用單因素分析法，通過分析不同節(jié)流孔結(jié)構(gòu)形式、節(jié)流孔直徑、氣膜厚度和供氣壓力下氣膜的流場狀態(tài)，以研究節(jié)流孔結(jié)構(gòu)形式、節(jié)流孔直徑、氣膜厚度和供氣壓力對氣浮工作臺微振動的影響。
　　2、建立氣膜與氣浮工作臺的振動分析模型，推導(dǎo)氣膜剛度公式，對工作臺進(jìn)行靜態(tài)剛度檢測試驗以驗證氣

3、膜剛度計算模型的正確性，根據(jù)相應(yīng)結(jié)果對氣膜抗振性能的影響因素進(jìn)行研究。
　　3、通過模態(tài)疊加諧響應(yīng)分析法獲取在氣體流場作用下氣浮工作臺的振動響應(yīng)特性，根據(jù)氣浮工作臺的設(shè)計要求，氣浮工作臺振動的最大幅值不能超過2μm，根據(jù)諧響應(yīng)分析結(jié)果對氣浮工作臺進(jìn)行結(jié)構(gòu)優(yōu)化，使氣浮工作臺的振幅達(dá)到精度要求。
　　4、建立氣浮工作臺的振動信號采集系統(tǒng)，采集不同供氣壓力和氣膜厚度下工作臺的振動信號，根據(jù)實驗結(jié)果分析供氣壓力和氣膜厚度對振動強(qiáng)度的