1、高功率固體激光裝置作為慣性約束聚變的驅(qū)動器,使用了大量高精度、大口徑的光學元件,并對應有嚴格的分頻段評價指標和要求,需要相應的大口徑檢測設備和技術(shù)提供支撐。本文研究了0600mm近紅外相移斐索干涉儀校準與測試技術(shù),解決了國內(nèi)高功率固體激光裝置中大口徑光學元件生產(chǎn)制造急需的干涉測試設備問題。主要研究內(nèi)容包括：
　　 ⑴基于彈性力學和有限元方法研究了600mm口徑標準透射平晶和標準反射平晶的徑向支撐方式,設計了180°支撐角下雙軟梯

2、吊帶的吊裝方式。分析了在此吊裝方式下,由于標準平晶受力方式改變以及吊帶軸向位置變化引起的干涉儀空腔波前變化,在其指導下將干涉儀空腔精度PV值調(diào)整到63nm,實際調(diào)整過程中的空腔波前檢測結(jié)果與有限元分析結(jié)果相一致。
　　 ⑵設計了一種可見光與近紅外光共光路的調(diào)整方法,解決了近紅外光路的調(diào)整難題。提出了一種角錐棱鏡掃描法,檢測大口徑干涉儀出射波前的準直性,指導干涉儀波前準直性的校準。采用45mm口徑的角錐棱鏡沿Φ600mm近紅外相移

3、斐索干涉儀的水平直徑掃描檢測出射波前,其PV值為1.18λ,RMS值為0.35λ。檢測結(jié)果表明角錐棱鏡掃描法對導軌的直線度沒有特殊要求。提出了一種基于PSD的導軌直線度的檢測方法,保證了五棱鏡掃描法檢測大口徑準直波前的精度。測量了500mm長導軌的直線度,導軌俯仰角、偏擺角和滾轉(zhuǎn)角的最大偏差分別為3.22′、1.16′和5.88′。分析了實驗系統(tǒng)誤差,結(jié)果表明測試精度可達0.2″。
　　 ⑶研究了功率譜密度的計算方法以及大口徑干

4、涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的檢測方法。采用口徑為100mm、臺階高度為126nm的臺階板,通過臺階位相比較法測量了近紅外大口徑相移斐索干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)。檢測結(jié)果表明,系統(tǒng)在0.2mm-1空間頻率處傳遞函數(shù)值為64％,滿足了中頻段的檢測要求。分析了影響干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)測量的誤差因素,包括:臺階高度的標定誤差、兩臺階面的相對傾斜量以及去噪預處理算法等。
　　 ⑷測試了近紅外大口徑相移斐索干涉儀的性能指標,其空腔精度PV值為63nm,重復性