玻璃基Ag-TiO2膜的制備及其應(yīng)用性能研究.pdf_第1頁(yè)
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1、透光隔熱膜不僅要滿足正常采光的要求,而且要有效阻隔紅外光和紫外光,達(dá)到透光隔熱的目的,其在汽車、建材等方面具有廣闊的應(yīng)用前景。本文基于增透薄膜理論,設(shè)計(jì)了Ag/TiO2透光隔熱復(fù)合膜,采用磁控濺射工藝在玻璃基底上制備了Ag/TiO2復(fù)合膜,系統(tǒng)研究了膜層的厚度與制備參數(shù)、底層材料對(duì)復(fù)合膜透光隔熱性能的影響,并優(yōu)化出膜層的較佳制備參數(shù)。
  基于汽車玻璃膜對(duì)透光隔熱的要求,提出了Ag/TiO2復(fù)合膜的設(shè)計(jì)思路,采用TFCalc軟件模

2、擬其光學(xué)性能,得到了復(fù)合膜滿足透光隔熱要求的膜層較佳厚度為:Ag膜15nm,TiO2膜20nm。
  研究了Ag膜的厚度對(duì)Ag/TiO2復(fù)合膜透光隔熱性能的影響規(guī)律。結(jié)果表明:隨著Ag膜濺射時(shí)間的增加,Ag膜厚度增大,復(fù)合膜隔熱溫差增大,而可見光平均透過(guò)率呈現(xiàn)先增大后減少的變化規(guī)律。
  研究了TiO2膜層的制備參數(shù)對(duì)Ag/TiO2復(fù)合膜透光隔熱性能的影響規(guī)律,并對(duì)制備參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化。結(jié)果表明:(1)可見光平均透過(guò)率和隔熱溫

3、差隨本底真空度、濺射時(shí)間、射頻功率、氬氣流量的增加先增大后減少;(2)制備參數(shù)對(duì)可見光平均透過(guò)率的影響程度由大到小的順序依次為氬氣流量、射頻功率、濺射時(shí)間、本底真空度;(3)制備參數(shù)對(duì)隔熱溫差的影響程度由大到小的順序依次為本底真空度、濺射時(shí)間、射頻功率、氬氣流量。(4)TiO2膜層的較佳制備參數(shù)組合為:本底真空度4×10-3Pa,射頻功率150w,濺射時(shí)間15min,氬氣流量20mL·min-1。
  研究了底層材料對(duì)Ag/TiO

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