1、光刻機(jī)作為光刻工藝中最重要的設(shè)備,其精度直接影響到集成電路的集成度,而雙工件臺(tái)作為光刻機(jī)最重要的部件之一,其精度直接影響到光刻機(jī)的各項(xiàng)指標(biāo)。工件臺(tái)的上位機(jī)系統(tǒng)主要用于工件臺(tái)的流程控制、實(shí)時(shí)監(jiān)控和仿真測(cè)試,因此是不可或缺的部分。
　　上位機(jī)的系統(tǒng)以Borland C++builder6.0作為開發(fā)環(huán)境,主要工作是與安裝在工控機(jī)上的VxWorks進(jìn)行通訊。本文首先從工件臺(tái)的任務(wù)入手,在明確工件臺(tái)任務(wù)的基礎(chǔ)上對(duì)上位機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行了整體的規(guī)劃

2、,并按照模塊化思想將上位機(jī)系統(tǒng)劃分為用戶管理模塊、數(shù)據(jù)庫(kù)模塊、實(shí)時(shí)監(jiān)控模塊、仿真測(cè)試模塊、網(wǎng)絡(luò)通訊模塊和數(shù)據(jù)文件模塊并對(duì)各個(gè)模塊的功能進(jìn)行了細(xì)致的介紹。
　　然后在Borland C++builder 6.0開發(fā)環(huán)境下根據(jù)各模塊的要求封裝了數(shù)據(jù)庫(kù)類、網(wǎng)絡(luò)通訊類、FDB文件類和動(dòng)態(tài)曲線繪制類,并對(duì)每個(gè)底層類的設(shè)計(jì)和功能以及封裝的函數(shù)進(jìn)行了細(xì)致的介紹。
　　最后在各底層類的基礎(chǔ)上根據(jù)對(duì)上位機(jī)的要求實(shí)現(xiàn)上位機(jī)的各個(gè)功能。完成用戶登