1、光學(xué)系統(tǒng)在光學(xué)顯微鏡,半導(dǎo)體生產(chǎn),空間探測等超精密工程領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。為了保證光路的準(zhǔn)確性,光學(xué)元器件不僅需要有很高的面形精度,而且需要高精密的定位系統(tǒng)。本文以光學(xué)元器件的高精度定位為應(yīng)用背景,研究全柔性鉸鏈的Stewart并聯(lián)機器人的結(jié)構(gòu)與致動器設(shè)計,主要工作有以下幾點:
　　首先,基于DH方法建立了針對各個支鏈單獨建立了每個支腿的坐標(biāo)系,將每個支鏈視為一個六自由度的串聯(lián)機器人,分別對每個支鏈求取各關(guān)節(jié)的逆解。在此基礎(chǔ)上

2、上,基于虛功原理建立了動力學(xué)方程,據(jù)此可以得到柔性鉸鏈的剛度、工作空間及驅(qū)動力之間的關(guān)系,本章是全柔性鉸鏈的Stewart并聯(lián)機器人的結(jié)構(gòu)設(shè)計的基礎(chǔ)。
　　其次,第二、三章中分別根據(jù)運動學(xué)與動力學(xué)方程求解柔性鉸鏈的范圍要求以及致動器的輸出力與伸縮范圍等設(shè)計目標(biāo),分別進行柔性鉸鏈與致動器的設(shè)計,保證柔性鉸鏈與制動器能夠滿足全柔性鉸鏈的Stewart并聯(lián)機器人工作空間、分辨率、負(fù)載能力的要求。
　　最后,分析了全柔性鉸鏈的Ste