1、多孔質(zhì)節(jié)流氣體靜壓電主軸以其高速、高精度、高承載以及清潔無污染等優(yōu)點(diǎn)，在超精密制造領(lǐng)域備受青睞。本文從氣體靜壓軸承的靜態(tài)特性、電主軸的結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)分析、關(guān)鍵零件制造工藝以及電主軸性能測試等方面對氣體靜壓電主軸的關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了深入研究，主要內(nèi)容包括：采用基于有限體積法的Fluent軟件對多孔質(zhì)氣體靜壓徑向軸承和止推軸承的靜態(tài)特性進(jìn)行了建模分析，研究了動壓效應(yīng)、節(jié)流方式、供氣壓力、軸承尺寸等因素對氣體靜壓軸承特性的影響。采用Fluent軟件

2、建模對比分析了球形與圓柱形軸承的承載力及剛度；采用Solidworks軟件的Simulation模塊對比分析了“工”字型、前“T”字型和后“T”字型轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)對模態(tài)的影響；對比分析了電機(jī)位置和電機(jī)尺寸對模態(tài)分析的影響。對不同材料的轉(zhuǎn)子進(jìn)行了靜態(tài)熱分析和熱-結(jié)構(gòu)耦合分析，得出了轉(zhuǎn)子溫升與熱變形結(jié)果；分析了橢圓誤差、凹凸平面度誤差對軸承特性的影響，得出幾何誤差對軸承特性的影響。采用Taylor Hobson圓柱度儀對轉(zhuǎn)子的制造精度進(jìn)行檢驗(yàn)；搭